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An Introduction to Surface-Micromachining

Robert W. Johnstone, Ash Parmaswaran (Taschenbuch, Englisch)

Optischer Zustand
Beschreibung
An Introduction to Surface-Micromachining provides for the first time a unified view of surface-micromachining. Building up from the basic building block of microfabrication techniques, to the general surface-micromachining design, it will finish with the theory and design of concrete components. An Introduction to Surface-Micromachining connects the manufacturing process, microscale phenomena,…  and design data to physical form and function. This book will be of interest to mechanical engineers looking to scale down into micromachining and microelectronics designers looking to move horizontally to micromachining.
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Technische Daten


Erscheinungsdatum
12.12.2012
Sprache
Englisch
EAN
9781475710779, 9781475710779
Herausgeber
Springer US
Sonderedition
Nein
Autor
Robert W. Johnstone, Ash Parmaswaran
Seitenanzahl
189
Einbandart
Taschenbuch
Schlagwörter
LIGA, Scratch, Wafer, design, manufacturing, mechanics, modeling, physics
Thema-Inhalt
TJFC - Schaltkreise und Komponenten (Bauteile) TGB - Maschinenbau THR - Elektrotechnik
Höhe
235 mm
Breite
15.5 cm

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