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Transiente physikalische Mechanismen bei der Laserablation von dünnen Metallschichten

Matthias Domke (Taschenbuch, Deutsch)

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Beschreibung
In der Dünnschichtbearbeitung ermöglicht die eingeschlossene Laserablation mit ultrakurzen Pulsen einen hocheffizienten und präzisen Abtrag einzelner Schichten. Die dabei erzeugten Strukturen sind frei von thermischer Schädigung. Dieses Buch informiert den Prozessingenieur über die dazu erforderlichen Laser- und Materialparameter. Darüber hinaus werden die transienten physikalischen Mechanismen bei der direkten und eingeschlossenen Laserablation von dünnen Metallschichten mittels zeitaufgelöster Mikroskopie dargestellt. Short summary In thin-film processing the confined laser ablation with ultrashort pulses enables very efficient and precise ablation of individual layers. The produced structures are free from thermal damage. This book informs the process engineer about the required laser and material parameters. Moreover, the transient physical mechanisms of direct and confined laser ablation of thin metal films are revealed using time-resolved microscopy.
2,49 €
Taschenbuch | Gut
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Technische Daten


Erscheinungsdatum
01.12.2015
Sprache
Deutsch
EAN
9783875253856, 9783875253856
Herausgeber
Meisenbach
Serien- oder Bandtitel
Fertigungstechnik – Erlangen
Sonderedition
Nein
Autor
Matthias Domke
Seitenanzahl
133
Auflage
1
Einbandart
Taschenbuch
Schlagwörter
Laserablation, Metall, Zeitaufgelöste Mikroskopie, Dünnschicht
Thema-Inhalt
TH - Energietechnik, Elektrotechnik und Energiemaschinenbau TG - Maschinenbau und Werkstoffe

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