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Ganzheitliche Methode zur Auslegung von Reinräumen mit definierter organischer Luftreinheit
Markus Keller (Taschenbuch, Deutsch)
Optischer Zustand
Beschreibung
Aus vielen in Reinraumbau verwendeten Materialien treten gasförmige Verbindungen in die umgebende Atmosphäre aus. Dieses sogenannte Ausgasen führt zur Kontamination der Produktionsumgebung mit luftgetragenen chemischen Verunreinigungen (ACC). Einige flüchtige organische Verbindungen (VOC) wie beispielsweise Amine, Organophosphate, Phthalate und Siloxane können dabei immense irreversible Produkt-… und Prozessschäden verursachen.
In den meisten reinen Fertigungen müssen demnach ausgasungsarme Materialien verwendet werden, welche zusätzlich keine der genannten kritischen Verbindungen in deren Ausgasungsspektrum enthalten.
In der vorliegenden Arbeit wird für eine gezielte Materialauswahl das Ausgasungsverhalten aller relevanten Materialien bestimmt und klassifiziert. Mit einem experimentell verifizierten Simulationsmodell werden drei neue Produktionsumgebungen hinsichtlich geringer VOC-Belastung geplant und erbaut. Abnahmemessungen demonstrieren letztendlich den Erfolg einer zielgerichteten Materialauswahl hinsichtlich einer optimierten organisch-chemischen Luftqualität. Dieses Produkt haben wir gerade leider nicht auf Lager.
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Technische Daten
Erscheinungsdatum
13.07.2016
Sprache
Deutsch
EAN
9783839610008
Herausgeber
Fraunhofer Verlag
Serien- oder Bandtitel
Stuttgarter Beiträge zur Produktionsforschung
Sonderedition
Nein
Autor
Markus Keller
Seitenanzahl
164
Einbandart
Taschenbuch
Bandzählung
50
Schlagwörter
Fraunhofer IPA, Reinraum, Kontamination, Emission, Luftreinheit, Planer und Bauer von Reinraumumgebungen, Prüfeinrichtung, Endanwender aus der Halbleiterindustrie, Luft und Raumfahrt und optischen Industrien, Planer und Bauer von Reinraumumgebungen, Prüfeinrichtungen, Endanwender aus der Halbleiterindustrie, Luft und Raumfahrt und optischen Industrien
Thema-Inhalt
TGMT - Werkstoffprüfung
TTD - Weltraumforschung
TBM - Instrumente und Instrumentierung
Höhe
210 mm
Breite
14.8 cm
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