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Atomic Layer Deposition for Semiconductors
(Taschenbuch, Englisch)
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Beschreibung
This edited volume discusses atomic layer deposition (ALD) for all modern semiconductor devices, moving from the basic chemistry of ALD and modeling of ALD processes to sections on ALD for memories, logic devices, and machines. The section on ALD for memories covers both mass-produced memories, such as DRAM and Flash, and emerging memories, such as PCRAM and FeRAM. The section on ALD for logic… devices covers both front-end of the line processes and back-end of the line processes. The final section on ALD for machines looks at toolsets and systems hardware. Each chapter provides the history, operating principles, and a full explanation of ALD processes for each device. 181,89 €
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Technische Daten
Erscheinungsdatum
23.08.2016
Sprache
Englisch
EAN
9781489979438
Herausgeber
Springer US
Sonderedition
Nein
Seitenanzahl
263
Einbandart
Taschenbuch
Schlagwörter
ALD for mass-production memories, ALD modeling, ALD simulations, Atomic Layer Deposition, Modern Semiconductor Devices
Thema-Inhalt
PNRH - Elektrochemie und Magnetochemie
TJFD - Elektronische Geräte und Materialien
UK - Computerhardware
THR - Elektrotechnik
TH - Energietechnik, Elektrotechnik und Energiemaschinenbau
TJF - Elektronik
Höhe
235 mm
Breite
15.5 cm
Transparenz & Sicherheit
Hersteller: Humana, Europaplatz 3, Heidelberg, Deutschland, 69115, ProductSafety@springernature.com, Springer Nature Customer Service Center GmbH
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