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Microsystem Technology
Wolfgang Menz (Gebundene Ausgabe, Englisch)
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Beschreibung
This completely revised edition of a bestselling concise introduction to microsystems technology includes the latest trends in this emerging scientific discipline. The chapters on silicium and LIGA technology are greatly expanded, whilst new topics include application aspects in medicine and health technology, lithography and electroplating. Dieses Produkt haben wir gerade leider nicht auf Lager.
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Technische Daten
Erscheinungsdatum
20.12.2000
Sprache
Englisch
EAN
9783527296347
Herausgeber
Wiley-VCH
Sonderedition
Nein
Autor
Wolfgang Menz
Seitenanzahl
500
Auflage
1
Einbandart
Gebundene Ausgabe
Schlagwörter
Mikrosystemtechnik, Technik / Sonstiges
Inhaltsverzeichnis
General Introduction to Microstructure Technology
The Parallels to Microelectrics
The Basis and Materials in Microtechnology
Basic Principles of Vacuum Technology
Litography
The Silicon Micromechanics
The LIGA Process
Alternative Process of Microstructuring
Construction and Junction Techniques (CJT)
System Technology
Höhe
240 mm
Breite
17 cm
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