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Der Umwelt zuliebe
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Beschreibung
The semiconductor industry is moving toward gas-phase reagents, increasing the relative importance of gas purity. Anyone who deals in the manufacturing of these devices needs to understand the technology available for modern gas analysis. Most specialty gas vendors have some re in place for quality assurance, but these usually are very simplistic and outdated methods. No book was available that… gave guidance on providing accurate, reproducible data on specialty gas products. This is the first book that provides an introduction to current analytical methods and equipment for the analysis of high- purity gases used in the semiconductor industry and related fields. Dieses Produkt haben wir gerade leider nicht auf Lager.
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Der Umwelt zuliebe
Technische Daten
Erscheinungsdatum
16.05.1997
Sprache
Englisch
EAN
9780471185987
Herausgeber
John Wiley & Sons
Sonderedition
Nein
Seitenanzahl
200
Auflage
1
Einbandart
Gebundene Ausgabe
Einbandart Details
Fadenbindung
Buch Untertitel
A Practical Guidebook
Schlagwörter
Technik / Chemische Technik, Halbleiter, Gasanalyse, Halbleiterindustrie
Inhaltsverzeichnis
From the Contents:
The Specialty Gas Industry/ Historical Gas Industry/ Historical Development of Gas Analysis/ The Path less Taken: Fruitless Pursuits in Specialty Gas Analysis/ Contemporary Gas Analysis: Equipment and Methods/ Future Directions in the Specialty Gas Field.
Höhe
242 mm
Breite
18 cm
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