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Silicon Anodization as a Structuring Technique
Alexey Ivanov (Taschenbuch, Englisch)
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Beschreibung
Alexey Ivanov investigates the application of a silicon anodization process as a three-dimensional structuring technique, where silicon is transformed into porous silicon as a sacrificial layer or directly dissolved in electropolishing regime. The work contains a detailed state of the art, experimental studies and modeling of the process for basic shape controlling techniques. Limitations of the… developed FEM model with secondary current distribution are discussed. 53,49 €
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Der Umwelt zuliebe
Technische Daten
Erscheinungsdatum
22.09.2017
Sprache
Englisch
EAN
9783658192372
Herausgeber
Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH
Sonderedition
Nein
Autor
Alexey Ivanov
Seitenanzahl
316
Auflage
1
Einbandart
Taschenbuch
Buch Untertitel
Literature Review, Modeling and Experiments
Schlagwörter
electrochemical etching, microsystems, FEM simulation, microstructuring, sacrificial layer, electropolishing
Thema-Inhalt
TJF - Elektronik
TBJ - Mathematik für Ingenieure
TGMB - Technische Thermodynamik
Höhe
210 mm
Breite
14.8 cm
Hersteller: Springer Nature Customer Service Center GmbH, Europaplatz 3, Heidelberg, Deutschland, 69115, ProductSafety@springernature.com
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