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Der Umwelt zuliebe
Silicon Anodization as a Structuring Technique
Alexey Ivanov (Taschenbuch, Englisch)
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Beschreibung
Alexey Ivanov investigates the application of a silicon anodization process as a three-dimensional structuring technique, where silicon is transformed into porous silicon as a sacrificial layer or directly dissolved in electropolishing regime. The work contains a detailed state of the art, experimental studies and modeling of the process for basic shape controlling techniques. Limitations of the… developed FEM model with secondary current distribution are discussed. Dieses Produkt haben wir gerade leider nicht auf Lager.
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Der Umwelt zuliebe
Technische Daten
Erscheinungsdatum
22.09.2017
Sprache
Englisch
EAN
9783658192372
Herausgeber
Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH
Sonderedition
Nein
Autor
Alexey Ivanov
Seitenanzahl
316
Auflage
1
Einbandart
Taschenbuch
Buch Untertitel
Literature Review, Modeling and Experiments
Schlagwörter
electrochemical etching, microsystems, FEM simulation, microstructuring, sacrificial layer, electropolishing
Thema-Inhalt
TJF - Elektronik
TBJ - Mathematik für Ingenieure
TGMB - Technische Thermodynamik
Höhe
210 mm
Breite
14.8 cm
Hersteller: Springer Gabler, Europaplatz 3, Heidelberg, Deutschland, 69115, ProductSafety@springernature.com, Springer Nature Customer Service Center GmbH
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