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Bücher Englische Bücher Wissen & Bildung Naturwissenschaft, Medizin, Informatik, Technik Technik Elektronik, Elektro- und Nachrichtentechnik Microstereolithography and other Fabrication Techniques for 3D MEMS
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Der Umwelt zuliebe
Microstereolithography and other Fabrication Techniques for 3D MEMS
Vijay K. Varadan (Gebundene Ausgabe, Englisch)
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Beschreibung
This timely and accessible book focusses on microstereolithography and other microfabrication for 3D MEMS. The application of MEMS (micro-electro-mechanical systems) in such diverse fields as intelligent microsensors, data storage, biomedical engineering and wireless communications is booming, but although many MEMS books are available, this book is unique in that most others deal with 2D MEMS.
… This volume discusses the fundamental principles of microstereolithography for fabrication of 3D MEMS devices, providing an account of recent developments in related microfabrication and combined architecture techniques, and illustrating their application in the engineering and medical fields.
It provides:
* A unique and accessible overview of micro-system manufacture using the latest semiconductor processing techniques
* Coverage of the developmental history of MEMS, micro-sensors, actuators and signal processing units
* Insight to a range of microfabrication techniques from laser ablation to x-ray lithography, silicon micro-machining and micro-moulding
* Describes the latest fabrication prototypes and applications, including thin-film transistors, antennas, wireless telemetry systems and transducers
This book will appeal to microelectronics engineers, as well as material technologists, and physicists working in industrial and academic research and development. Dieses Produkt haben wir gerade leider nicht auf Lager.
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Der Umwelt zuliebe
Technische Daten
Erscheinungsdatum
29.01.2001
Sprache
Englisch
EAN
9780471521853
Herausgeber
John Wiley & Sons
Sonderedition
Nein
Autor
Vijay K. Varadan
Seitenanzahl
260
Auflage
1
Einbandart
Gebundene Ausgabe
Einbandart Details
Fadenbindung
Schlagwörter
Laserablation, Mikroelektronik, Mikromechanik, LIGA (EDV), Technik / Maschinenbau, Fertigungstechnik, Stereolithographie
Inhaltsverzeichnis
Preface.
Microelectromechanical Systems.
Fundamentals of Polymer Synthesis for MEMS.
Stereolithography (SL).
Microstereolithography Techniques I-Scanning Method.
Microstereolithography Techniques II-Projection Method.
Polymeric MEMS Architecture with Silicon, Metal, and Ceramics.
Combined Silicon and Polymeric Structures.
Micromolding.
Applications.
Appendix 1: Some Polymers for MEMS.
Appendix 2: An Example of CAD Model and NC Codes for Microstereolithography.
Index.
Höhe
225 mm
Breite
17.2 cm
Hersteller: Wiley, Boschstrasse 12, Weinheim, Deutschland, 69469, product_safety@wiley.com, Wiley-VCH GmbH
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