Nanotechnologie und Nanoprozesse

07.04.2003

Deutsch

9783540442127

Springer Berlin

Nein

294

Gebundene Ausgabe

Einführung, Bewertung

Dioden, Bauelemente, Herstellung, Simulation, Elektronische Bauelemente, Nanostruktur, Nanokristall, Laser, Transistor, Entwicklung, nanokristallin, Optik, Energie, Kohlenstoffnanoröhren, Tabellen

TJF - Elektronik TJFD - Elektronische Geräte und Materialien PNK - Anorganische Chemie TBN - Nanotechnologie

1 Historische Entwicklung.- 1.1 Miniaturisierung elektrischer und elektronischer Bauelemente.- 1.2 Das Moore’sche Gesetz und die SIA-Straßenkarte („Roadmap“).- 2 Quantenmechanische Aspekte.- 2.1 Allgemeines W. R. Fahrner.- 2.2 Simulation von Molekülclustereigenschaften A. Ulyashin.- 2.3 Bildung der Energielücke A. Ulyashin.- 2.4 Vorüberlegungen zur Lithographie W. R. Fahrner.- 2.5 Begrenzungseffekte W. R. Fahrner.- 2.5.1 Diskretisierung von Energieniveaus.- 2.5.2 Tunnelströme.- 2.6 Bewertung und Zukunftsaussichten W. R. Fahrner.- 3 Nanodefekte.- 3.1 Erzeugung und Formen von Nanodefekten in Kristallen.- 3.2 Charakterisierung von Nanodefekten in Kristallen.- 3.3 Anwendungen von Nanodefekten in Kristallen.- 3.3.1 Lebensdauereinstellung.- 3.3.2 Bildung thermischer Donatoren.- 3.3.3 Smart und soft cut.- 3.3.4 Lichtemittierende Dioden (LEDs).- 3.4 Kernspur-Nanodefekte.- 3.4.1 Erzeugung von Nanodefekten mit Kernspuren.- 3.4.2 Anwendungen von Kernspuren für Nanobauelemente.- 3.5 Bewertung und Zukunftsaussichten.- 4 Nanoschichten.- 4.1 Herstellung von Nanoschichten.- 4.1.1 Physikalische Abscheidung aus der Gasphase.- 4.1.2 Chemische Abscheidung aus der Gasphase (chemical vapor deposition, CVD).- 4.1.3 Epitaxie.- 4.1.4 Ionenimplantation.- 4.1.5 Bildung von Siliziumoxid.- 4.2 Charakterisierung von Nanoschichten.- 4.2.1 Dicke, Oberflächenrauigkeit.- 4.2.2 Kristallinität.- 4.2.3 Chemische Zusammensetzung.- 4.2.4 Leitfähigkeit.- 4.2.5 Optische Eigenschaften.- 4.3 Anwendungen von Nanoschichten.- 4.4 Bewertung und Zukunftsaussichten.- 5 Nanopartikel.- 5.1 Herstellung von Nanopartikeln.- 5.1.1 Mahlen mit Eisenkugeln.- 5.1.2 Gaskondensation.- 5.1.3 Laserabtrag.- 5.1.4 Thermische und Ultraschallzersetzung.- 5.1.5 Reduktionsmethoden.- 5.1.6 Selbst-Einrichtung.- 5.1.7 Niederdruck-, Niedertemperaturplasma.- 5.1.8 Thermisches Hochgeschwindigkeitsspritzen von Sauerstoff/Pulver/Treibmittel.- 5.1.9 Atomoptik.- 5.1.10 Sol-Gele.- 5.1.11 Präzipitation von Quantenpunkten (Quantum dots).- 5.1.12 Andere Verfahren.- 5.2 Charakterisierung von Nanopartikeln.- 5.2.1 Optische Messungen.- 5.2.2 Magnetische Messungen.- 5.2.3 Elektrische Messungen.- 5.3 Anwendungen von Nanopartikeln.- 5.4 Bewertung und Zukunftsaussichten.- 6 Ausgewählte nanokristalline Festkörper.- 6.1 Nanokristallines Silizium.- 6.1.1 Herstellung von nanokristallinem Silizium.- 6.1.2 Charakterisierung von nanokristallinem Silizium.- 6.1.3 Anwendungen von nanokristallinem Silizium.- 6.1.4 Bewertung und Zukunftsaussichten.- 6.2 Zeolithe und Nanocluster in Zeolithwirtsgittern R.Job.- 6.2.1 Vorbemerkungen.- 6.2.2 Herstellung und Charakterisierung von Zeolithen.- 6.2.3 Nanocluster in Zeolithwirtsgittern.- 6.2.4 Anwendung von Zeolithen und Nanoclustern in Zeolithwirtsgittern.- 6.2.5 Bewertung und Zukunftsaussichten.- 7 Nanostrukturierung.- 7.1 Nanopolitur von Diamant W. R. Fahrner.- 7.1.1 Verfahren der Nanopolitur.- 7.1.2 Charakterisierung der Nanopolitur.- 7.1.3 Anwendungen, Bewertung und Zukunftsaussichten.- 7.2 Ätzung von Nanostrukturen U. Hilleringmann.- 7.2.1 Stand der Technik.- 7.2.2 Fortschrittliche Ätzverfahren.- 7.2.3 Bewertung und Zukunftsaussichten.- 7.3 Lithographieverfahren U. Hilleringmann.- 7.3.1 Stand der Technik.- 7.3.2 Optische Lithographie.- 7.3.3 Perspektiven für die optische Lithographie.- 7.3.4 Elektronenstrahllithographie.- 7.3.5 Ionenstrahllithographie.- 7.3.6 Röntgen- und Synchrotronlithographie.- 7.3.7 Bewertung und Zukunftsaussichten.- 7.4 Fokussierte Ionenstrahlen A. Wieck.- 7.4.1 Prinzip und Motivation.- 7.4.2 Apparative Details.- 7.4.3 Theorie.- 7.4.4 Anwendungen.- 7.4.5 Bewertung und Zukunftsaussichten.- 7.5 Nanoimprinting H. Scheer.- 7.5.1 Was ist Nanoimprinting?.- 7.5.2 Bewertung und Zukunftsaussichten.- 7.6 Atomkraftmikroskopie W. R. Fahrner.- 7.6.1 Beschreibung des Verfahrens und Ergebnisse.- 7.6.2 Bewertung und Zukunftsaussichten.- 7.7 Nahfeldoptik W. R. Fahrner.- 7.7.1 Beschreibung des Verfahrens und Ergebnisse.- 7.7.2 Bewertung und Zukunftsaussichten.- 8 Erweiterung konventioneller Bauelemente durch Nanotechniken.- 8.1 MOS-Transistoren U. Hilleringmann J. Horstmann.- 8.1.1 Struktur und Technologie.- 8.1.2 Elektrische Eigenschaften von Sub-100-nm-MOS-Transistoren.- 8.1.3 Grenzen der minimal einsetzbaren Kanallänge.- 8.1.4 Tieftemperaturverhalten.- 8.1.5 Bewertung und Zukunftsaussichten.- 8.2 Bipolartransistoren U. Hilleringmann.- 8.2.1 Struktur und Technologie.- 8.2.2 Bewertung und Zukunftsaussichten.- 9 Auf Nanostrukturen beruhende innovative elektronische Bauelemente.- 9.1 Diamanttransistoren W. R. Fahrner.- 9.1.1 Auswahl des Grundmaterials.- 9.1.2 Herstellung und Kennlinien von Sub-?m-Diamant-Transistoren.- 9.1.3 Bewertung und Zukunftsaussichten.- 9.2 Resonante Tunneldioden H. C. Neitzert.- 9.2.1 Funktionsprinzip und Technologie.- 9.2.2 Anwendungen in der Hochfrequenz- und digitalen Schaltungstechnik und Vergleich mit konkurrierenden Bauelementen.- 9.3 Quantum-Cascade-Laser H. C. Neitzert.- 9.3.1 Funktionsprinzip und Struktur.- 9.3.2 Anwendungen von Quantum-Cascade-Lasern in der Sensorik und ultraschnellen Datenübertragung.- 9.4 Einzelelektron-Transistoren H. C. Neitzert.- 9.4.1 Funktionsprinzip.- 9.4.2 Technologie.- 9.4.3 Anwendungen des Einzelelektron-Transistors.- 9.5 Kohlenstoffnanoröhren-Bauelemente.- 9.5.1 Struktur und Herstellung.- 9.5.2 Kohlenstoffnanoröhren-Transistoren.- Literatur.- Register.

235 mm

15.5 cm