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Der Umwelt zuliebe
Investigation of industrially-suited processes for deposition of oxide thin films by high power impulse magnetron sputtering.
Felipe de Campos Carreri (Taschenbuch, Englisch)
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Beschreibung
The scope of this work is to investigate and to develop advanced HIPIMS processes for deposition of oxides, utilizing industrial-scale equipment and technology. Two classes of oxide materials were studied: insulating (aluminum oxide) and conducting oxides (indium-tin oxide and aluminum-doped zinc oxide). The electrical properties of the oxides have a significant influence on the process design, as… the issues and approaches for deposition of insulating materials are fairly different from conducting materials. Different types of reactive process control were also investigated, utilizing optical emission spectroscopy to control the oxygen flow and lambda probes to control the discharge power. A non-reactive process was also studied for indium-tin oxide. Dieses Produkt haben wir gerade leider nicht auf Lager.
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Der Umwelt zuliebe
Technische Daten
Erscheinungsdatum
26.02.2018
Sprache
Englisch
EAN
9783839612873
Herausgeber
Fraunhofer Verlag
Serien- oder Bandtitel
Berichte aus Forschung und Entwicklung IST
Sonderedition
Nein
Autor
Felipe de Campos Carreri
Seitenanzahl
220
Einbandart
Taschenbuch
Bandzählung
43
Schlagwörter
Fraunhofer IST, material science, production engineering, other manufacturing technologies, oxide thin films, magnetron sputtering, HIPIMS, reactive sputtering, TCO, aluminum oxide, Verfahrensingenieur, Materialienwissenschaftler, Oberflächeningenieur, Verfahrensingenieure, Materialienwissenschaftler, Oberflächeningenieure
Thema-Inhalt
TG - Maschinenbau und Werkstoffe
TGM - Materialwissenschaft
TGP - Fertigungstechnik und Ingenieurwesen
TDP - Andere Fertigungsverfahren
Höhe
210 mm
Breite
14.8 cm
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