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Ultrapräzisionsverfahren zur Erhöhung der Güte abbildender Beugungsgitter.

Stefan Kühne (Taschenbuch, Deutsch)

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Optischer Zustand
Beschreibung
Die optische Spektroskopie umfasst Methoden, mit denen die spektrale Intensitätsverteilung elektromagnetischer Strahlung ermittelt werden kann. Zum Aufbau kompakter Spektrometer werden optische Elemente benötigt, die dispergierende und abbildende Eigenschaften in einer Oberfläche vereinen. Die Herstellung solcher Optiken erfordert Fertigungsmethoden, die den hohen Güteanforderungen diffraktiver Optiken gerecht werden. Ziel der Arbeit ist die Optimierung der Form- und Feingestalt mechanisch gefertigter Beugungsgitter mit starker Krümmung. Im Fokus der Untersuchungen stehen das Stoßen und das Furchen auf einer modifizierten Ultrapräzisionsmaschine. Auf Basis von Parameterstudien und am Beispiel praxisnaher Anwendungen wurden die Prozesse optimiert und validierte Prozessmodelle zur Verfügung gestellt. Zur weiteren Optimierung der Güte wurde ein Atomstrahlätzverfahren verwendet. Die Arbeit liefert einen wichtigen Beitrag zur Erhöhung der Güte ultrapräzise gefertigter Beugungsgitter. In Ergänzung zur Interferenzlithografie stellen die bereitgestellten Fertigungsverfahren eine wirtschaftliche Erweiterung hinsichtlich der Nutzung flexibler Freiheitsgrade und der Materialauswahl dar.
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Technische Daten


Erscheinungsdatum
14.03.2018
Sprache
Deutsch
EAN
9783839613016
Herausgeber
Fraunhofer Verlag
Serien- oder Bandtitel
Berichte aus dem Produktionstechnischen Zentrum Berlin
Sonderedition
Nein
Autor
Stefan Kühne
Seitenanzahl
191
Einbandart
Taschenbuch
Schlagwörter
Fraunhofer IPK, mechanical engineering, nanotechnology, Ultrapräzisionszerspanung, Blazegitter, Beugungsgitter, Mikroumformen, Spektroskopie, Ultrapräzision, Physikalische Ingenieure, Physiker, Maschinenbau-Ingenieur, Optik-Designer, Physikalische Ingenieure, Physiker, Maschinenbau-Ingenieure, Optik-Designer
Thema-Inhalt
TGP - Fertigungstechnik und Ingenieurwesen TGB - Maschinenbau TBN - Nanotechnologie
Höhe
210 mm
Breite
14.8 cm

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