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Der Umwelt zuliebe
Optischer Zustand
Beschreibung
This book covers the fundamentals of Helium Ion Microscopy (HIM) including the Gas Field Ion Source (GFIS), column and contrast formation. It also provides first hand information on nanofabrication and high resolution imaging. Relevant theoretical models and the existing simulation approaches are discussed in an extra section. The structure of the book allows the novice to get acquainted with the… specifics of the technique needed to understand the more applied chapters in the second half of the volume. The expert reader will find a complete reference of the technique covering all important applications in several chapters written by the leading experts in the field. This includes imaging of biological samples, resist and precursor based nanofabrication, applications in semiconductor industry, using Helium as well as Neon and many more. The fundamental part allows the regular HIM user to deepen his understanding of the method. A final chapter by Bill Ward, one of the pioneers of HIM, covering the historical developments leading to the existing tool complements the content. 246,09 €
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Technische Daten
Erscheinungsdatum
16.06.2018
Sprache
Englisch
EAN
9783319824734
Herausgeber
Springer International Publishing
Serien- oder Bandtitel
NanoScience and Technology
Sonderedition
Nein
Seitenanzahl
526
Auflage
Softcover reprint of the original 1st edition 2016
Einbandart
Taschenbuch
Schlagwörter
Atomic scale simulation of ion scattering, Gas field ion source, Helium ion microscopy, High-resolution imaging, Imaging of biological samples, Ion Beam techniques, Microscopy contrast formation, Monte Carlo simulation of sputter yields, Nanofabrication, SIMS in HIM
Thema-Inhalt
PNFS - Spektroskopie, Spektrochemie, Massenspektrometrie
TGM - Materialwissenschaft
PHFC - Physik der kondensierten Materie (Flüssigkeits- und Festkörperphysik)
TJF - Elektronik
Höhe
235 mm
Breite
15.5 cm
Hersteller: Birkhäuser, Europaplatz 3, Heidelberg, Deutschland, 69115, ProductSafety@springernature.com, Springer Nature Customer Service Center GmbH
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