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Gepulste Laserabscheidung von piezoelektrischen Pb(Zr,Ti)O3-Dünnschichten zur Anwendung in mikroelektromechanischen Systemen
Andreas Schatz (Taschenbuch, Deutsch)
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Beschreibung
Der piezoelektrische Effekt findet im Bereich der mikroelektromechanischen Systeme vermehrt Anwendung, was unter anderem durch einen ansteigenden Reifegrad von piezoelektrischen Dünnschichten erklärt werden kann. In dieser Arbeit wird die gepulste Laserabscheidung von piezoelektrischen Blei-Zirkonat-Titanat-Dünnschichten untersucht. Hierfür wird die Methode der statistischen Versuchsplanung… angewandt. Aufbauend auf diesen Untersuchungen werden die physikalischen Hintergründe der beiden Haupteinflussgrößen Druck und Temperatur der Abscheidung weitergehend analysiert und Zusammenhänge zwischen Mikrostruktur und elektrischen Parametern dargelegt. Ausgehend von den Erkenntnissen der statistischen Versuchsplanung werden weiterhin verschiedene Ansätze zur Lösung der Problematik der Abscheidung von Blei-Zirkonat-Titanat-Dünnschichten bei Einhaltung eines maximalen, post-CMOS-kompatiblen, thermischen Budgets aufgezeigt. Dieses Produkt haben wir gerade leider nicht auf Lager.
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Technische Daten
Erscheinungsdatum
30.09.2019
Sprache
Deutsch
EAN
9783844069372
Herausgeber
Shaker
Serien- oder Bandtitel
Microactuators – Design and Technology
Sonderedition
Nein
Autor
Andreas Schatz
Seitenanzahl
180
Auflage
1
Einbandart
Taschenbuch
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