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Electrical Atomic Force Microscopy for Nanoelectronics
(Taschenbuch, Englisch)
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Beschreibung
The tremendous impact of electronic devices on our lives is the result of continuous improvements of the billions of nanoelectronic components inside integrated circuits (ICs). However, ultra-scaled semiconductor devices require nanometer control of the many parameters essential for their fabrication. Through the years, this created a strong alliance between microscopy techniques and IC… manufacturing. This book reviews the latest progress in IC devices, with emphasis on the impact of electrical atomic force microscopy (AFM) techniques for their development. The operation principles of many techniques are introduced, and the associated metrology challenges described. Blending the expertise of industrial specialists and academic researchers, the chapters are dedicated to various AFM methods and their impact on the development of emerging nanoelectronic devices. The goal is to introduce the major electrical AFM methods, following the journey that has seen our lives changedby the advent of ubiquitous nanoelectronics devices, and has extended our capability to sense matter on a scale previously inaccessible. 192,59 €
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Der Umwelt zuliebe
Technische Daten
Erscheinungsdatum
25.08.2020
Sprache
Englisch
EAN
9783030156145
Herausgeber
Springer International Publishing
Serien- oder Bandtitel
NanoScience and Technology
Sonderedition
Nein
Seitenanzahl
408
Auflage
1st edition 2019
Einbandart
Taschenbuch
Schlagwörter
Atomic Force Microscope, Nanoscale materials analysis, VLSI metrology, Nanoelectronic materials, Nanoelectronic devices, Ferroelectrics for logic and memory, High-k dielectric materials, Diamond tip for AFM, Scanning capacitance microscopy
Thema-Inhalt
PNFS - Spektroskopie, Spektrochemie, Massenspektrometrie
TGMT - Werkstoffprüfung
TJF - Elektronik
TGMM - Technische Anwendung von elektronischen, magnetischen, optischen Materialien
PHFC - Physik der kondensierten Materie (Flüssigkeits- und Festkörperphysik)
PDT - Nanowissenschaften
TBN - Nanotechnologie
Höhe
235 mm
Breite
15.5 cm
Transparenz & Sicherheit
Hersteller: Springer, Europaplatz 3, Heidelberg, Deutschland, 69115, ProductSafety@springernature.com, Springer Nature Customer Service Center GmbH
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