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Neue Schneidengeometrien zur Verbesserung des Werkzeugeinsatzverhaltens beim Hartdrehen
Roland Meyer (Broschiert, Deutsch)
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Beschreibung
Die Fertigung von Elektroden für Mikro-Funkenerosion (Micro Electro Discharge Machining – µ-EDM) mittels mikrotechnischer Prozesse stellt eine attraktive Alternative zu konventionellen Fertigungsprozessen dar. Fotolithografieprozesse dienen dabei dazu, organische Mikroformen mit Höhen zwischen 20 µm und 650 µm für die galvanische Abscheidung zu erzeugen. Die Füllung der Mikroformen erfolgt durch… galvanische Abscheidung. Während sich zeigt, dass sich klassische Fotoresists weniger als Formmaterial eignen, können mit dem fotoempfindlichen Epoxidharz SU-8TM geeignete Mikroformen bei hohem Aspektverhältnis hergestellt werden. Allerdings gibt es für SU-8TM im Gegensatz zu klassischen Fotoresists keine Lösungsmittel, welche ein Entfernen nach der Nutzung gestatten. Einen erfolgreichen Ansatz zum Entfernen stellt der Einsatz eines neu entwickelten Plasmaveraschungs-prozesses dar, welcher dazu dient, die SU-8TM-Formen mittels Trockenätzen zu entfernen.
Bei der Abscheidung des Elektrodenwerkstoffs stellt ein galvanisches Auffüllen der schmalen und gleichzeitig tiefen Mikroformen die Hauptherausforderung dar. Als Elektrodenwerkstoffe werden Cu, WCu und CoFe sowie Cu mit eingelagerten WC-Partikeln untersucht. Die fertiggestellten Elektroden werden vom Kooperations-partner Werkzeugmaschinenlabor (WZL) der RWTH Aachen erprobt. Dieses Produkt haben wir gerade leider nicht auf Lager.
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Technische Daten
Erscheinungsdatum
09.02.2012
Sprache
Deutsch
EAN
9783943104356
Herausgeber
TEWISS
Serien- oder Bandtitel
Berichte aus dem IFW
Sonderedition
Nein
Autor
Roland Meyer
Seitenanzahl
156
Auflage
1
Einbandart
Broschiert
Schlagwörter
Hartdrehen, Bauteilrandzone, Schneidengeometrie
Thema-Inhalt
T - Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse
Höhe
210 mm
Breite
14.7 cm
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