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Physical Chemistry of, in and on Silicon
Gianfranco F. Cerofolini, Laura Meda (Broschiert, Englisch)
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Beschreibung
The aim of this book is twofold: it is intended for use as a textbook for a ~ourse on electronic materials (indeed, it stems from a series of lectures on this topic delivered at Milan Polytechnic and at the universities of Modena and Parma), and as an up-to-date review for scientists working in the field ::>f silicon processing. Although a number of works on silicon are already available, the vast… amount of existing and new data on silicon properties are nowhere adequately summarized in a single comprehensive report. The present volume is intended to fill this gap. Most of the examples dealt with are taken from the authors' every day experience, this choice being dictated merely by their greater knowl edge of these areas. Certain aspects of the physics of silicon have not been included; this is either because they have been treated in standard textbooks (e.g. the inhomogeneously doped semiconductor and the chem istry of isotropic or preferential aqueous etching of silicon), or because they are still in a rapidly evolving phase (e.g. silicon band-gap engineering, generation-recombination phenomena, cryogenic properties and the chem istry of plasma etching). In line with the standard practice in microelectronics, CGS units will be used for mechanical and thermal quantities, and SI units for electrical quan tities. All atomic energies will be given in electronvolts and the angstrom will be the unit of length used for atomic phenomena. 53,49 €
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Technische Daten
Erscheinungsdatum
16.12.2011
Sprache
Englisch
EAN
9783642735066
Herausgeber
Springer Berlin
Serien- oder Bandtitel
Springer Series in Materials Science
Sonderedition
Nein
Autor
Gianfranco F. Cerofolini, Laura Meda
Seitenanzahl
122
Einbandart
Broschiert
Schlagwörter
chemistry, defects, oxidation, physical chemistry, silicon, surface
Thema-Inhalt
TGMM - Technische Anwendung von elektronischen, magnetischen, optischen Materialien
TGM - Materialwissenschaft
PNR - Physikalische Chemie
Höhe
235 mm
Breite
15.5 cm
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Hersteller: Springer, Europaplatz 3, Heidelberg, Deutschland, 69115, ProductSafety@springernature.com, Springer Nature Customer Service Center GmbH
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