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Electron-Beam Interactions with Solids
Maurizio Dapor (Gebundene Ausgabe, Englisch)
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Beschreibung
The interaction of an electron beam with a solid target has been studied since the early part of the past century. Since 1960, the electron–solid interaction hasbecomethesubjectofanumberofinvestigators’workowingtoitsfun- mental role in scanning electron microscopy, in electron-probe microanalysis, in Auger electron spectroscopy, in electron-beam lithography and in radiation damage. The interaction… of an electron beam with a solid target has often been investigated theoretically by using the Monte Carlo method, a nume- cal procedure involving random numbers that is able to solve mathematical problems. This method is very useful for the study of electron penetration in matter. The probabilistic laws of the interaction of an individual electron with the atoms constituting the target are well known. Consequently, it is possible to compute the macroscopic characteristics of interaction processes by simulating a large number of real trajectories, and then averaging them. The aim of this book is to study the probabilistic laws of the interaction of individual electrons with atoms (elastic and inelastic cross-sections); to - vestigate selected aspects of electron interaction with matter (backscattering coe?cients for bulk targets, absorption, backscattering and transmission for both supported and unsupported thin ?lms, implantation pro?les, seconda- electron emission, and so on); and to introduce the Monte Carlo method and its applications to compute the macroscopic characteristics of the inter- tion processes mentioned above. The book compares theory, computational simulations and experimental data in order to o?er a more global vision. Dieses Produkt haben wir gerade leider nicht auf Lager.
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Der Umwelt zuliebe
Technische Daten
Erscheinungsdatum
23.04.2003
Sprache
Englisch
EAN
9783540006527
Herausgeber
Springer Berlin
Serien- oder Bandtitel
Springer Tracts in Modern Physics
Sonderedition
Nein
Autor
Maurizio Dapor
Seitenanzahl
110
Einbandart
Gebundene Ausgabe
Buch Untertitel
Application of the Monte Carlo Method to Electron Scattering Problems
Schlagwörter
Cross section, Electron Beams, Electron Scattering, Monte Carlo, elastic scattering, scattering, thin film
Thema-Inhalt
PHFC - Physik der kondensierten Materie (Flüssigkeits- und Festkörperphysik)
PHM - Atom- und Molekularphysik
TGM - Materialwissenschaft
TGMM - Technische Anwendung von elektronischen, magnetischen, optischen Materialien
PHU - Mathematische Physik
PHP - Teilchen- und Hochenergiephysik
Höhe
236 mm
Breite
15.6 cm
Hersteller: Springer, Europaplatz 3, Heidelberg, Deutschland, 69115, ProductSafety@springernature.com, Springer Nature Customer Service Center GmbH
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