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Beschreibung
Epitaxy provides readers with a comprehensive treatment of the modern models and modifications of epitaxy, together with the relevant experimental and technological framework. This advanced textbook describes all important aspects of the epitaxial growth processes of solid films on crystalline substrates, including a section on heteroepitaxy. It covers and discusses in details the most important epitaxial growth techniques, which are currently widely used in basic research as well as in manufacturing processes of devices, namely solid-phase epitaxy, liquid-phase epitaxy, vapor-phase epitaxy, including metal-organic vapor-phase epitaxy and molecular-beam epitaxy. Epitaxy’s coverage of science and texhnology thin-film is intended to fill the need for a comprehensive reference and text examining the variety of problems related to the physical foundations and technical implementation of epitaxial crystallization.
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Technische Daten


Erscheinungsdatum
01.12.2010
Sprache
Englisch
EAN
9783642087370
Herausgeber
Springer Berlin
Serien- oder Bandtitel
Springer Series in Materials Science
Sonderedition
Nein
Autor
Marian A. Herman, W. Richter, Helmut Sitter
Seitenanzahl
525
Auflage
1
Einbandart
Broschiert

Hersteller: Springer Nature Customer Service Center GmbH, Europaplatz 3, Heidelberg, Deutschland, 69115, ProductSafety@springernature.com

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