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Silicon Sensors and Actuators

(Gebundene Ausgabe, Englisch)

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Beschreibung
This book thoroughly reviews the present knowledge on silicon micromechanical transducers and addresses emerging and future technology challenges. Readers will acquire a solid theoretical and practical background that will allow them to analyze the key performance aspects of devices, critically judge a fabrication process, and then conceive and design new ones for future applications. Envisioning a future complex versatile microsystem, the authors take inspiration from Richard Feynman’s visionary talk “There is Plenty of Room at the Bottom” to propose that the time has come to see silicon sensors as part of a “Feynman Roadmap” instead of the “More-than-Moore” technology roadmap. The sharing of the author’s industrially proven track record of development, design, and manufacturing, along with their visionary approach to the technology, will allow readers to jump ahead in their understanding of the core of the topic in a very effective way. Students, researchers, engineers, and technologists involved in silicon-based sensor and actuator research and development will find a wealth of useful and groundbreaking information in this book.
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Technische Daten


Erscheinungsdatum
13.04.2022
Sprache
Englisch
Originalsprache
Englisch
EAN
9783030801342
Herausgeber
Springer International Publishing
Sonderedition
Nein
Seitenanzahl
997
Einbandart
Gebundene Ausgabe
Buch Untertitel
The Feynman Roadmap
Schlagwörter
Actuators, Electronic Interfaces, Fabrication, Mechanical Material, MEMS, Micro Mechanical Transducers, Microelectronics, Microfabrication, More-than-Moore, MtM, Richard Feynman, Sensors, Silicon, Silicon Wafers, STMicroelectronics, Transducers
Thema-Inhalt
TJF - Elektronik TJFC - Schaltkreise und Komponenten (Bauteile) TGM - Materialwissenschaft
Höhe
235 mm
Breite
15.5 cm

Transparenz & Sicherheit

Hersteller: Palgrave Macmillan, Europaplatz 3, Heidelberg, Deutschland, 69115, ProductSafety@springernature.com, Springer Nature Customer Service Center GmbH

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