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Ion Implantation in Semiconductors

(Broschiert, Englisch)

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Beschreibung
In recent years great progress has been made in the field of ion implantation, particularly with respect to applications in semiconductors. It would be impos sible not to note the growing interest in this field, both by research groups and those directly concerned with production of devices. Furthermore, as several papers have pointed out, ion implantation and its associated technologies promise exciting advances in the development of new kinds of devices and provide power ful new tools for materials investigations. It was, therefore, appropriate to arrange the II. International Conference on Ion Implantation in Semiconductors within the rather short time of one year since the first conference was held in 1970 in Thousand Oaks, California. Although ori ginally planned on a small scale with a very limited number of participants, more than two hundred scientists from 15 countries participated in the Conference which was held May 24 - 28, 1971 at the Congress Center in Garmisch-Partenkirchen. This volume contains the papers that were presented at the Conference. Due to the tremendous volume of research presented, publication here of all the works in full detail was not possible. Many authors therefore graciously agreed to submit abbreviated versions of their papers.
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Technische Daten


Erscheinungsdatum
25.12.2011
Sprache
Englisch
EAN
9783642806629
Herausgeber
Springer Berlin
Sonderedition
Nein
Seitenanzahl
508
Auflage
1
Einbandart
Broschiert
Buch Untertitel
Proceedings of the II. International Conference on Ion Implantation in Semiconductors, Physics and Technology, Fundamental and Applied Aspects May 24–28, 1971, Garmisch-Partenkirchen, Bavaria, Germany
Schlagwörter
development, implant, implantat, implantation, production, research, stress
Thema-Inhalt
TJFD - Elektronische Geräte und Materialien MB - Medizin, allgemein
Höhe
244 mm
Breite
17 cm

Hersteller: Springer Nature Customer Service Center GmbH, ProductSafety@springernature.com

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