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Fundamentals of Semiconductor Processing Technology

Badih El-Kareh, Lou N. Hutter (Broschiert, Englisch)

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Beschreibung
The drive toward new semiconductor technologies is intricately related to market demands for cheaper, smaller, faster, and more reliable circuits with lower power consumption. The development of new processing tools and technologies is aimed at optimizing one or more of these requirements. This goal can, however, only be achieved by a concerted effort between scientists, engineers, technicians, and operators in research, development, and manufac turing. It is therefore important that experts in specific disciplines, such as device and circuit design, understand the principle, capabil ities, and limitations of tools and processing technologies. It is also important that those working on specific unit processes, such as lithography or hot processes, be familiar with other unit processes used to manufacture the product. Several excellent books have been published on the subject of process technologies. These texts, however, cover subjects in too much detail, or do not cover topics important to modem tech nologies. This book is written with the need for a "bridge" between different disciplines in mind. It is intended to present to engineers and scientists those parts of modem processing technologies that are of greatest importance to the design and manufacture of semi conductor circuits. The material is presented with sufficient detail to understand and analyze interactions between processing and other semiconductor disciplines, such as design of devices and cir cuits, their electrical parameters, reliability, and yield.
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Technische Daten


Erscheinungsdatum
25.09.2012
Sprache
Englisch
EAN
9781461359272
Herausgeber
Springer US
Sonderedition
Nein
Autor
Badih El-Kareh, Lou N. Hutter
Seitenanzahl
602
Einbandart
Broschiert
Schlagwörter
Wafer, circuit, development, dielectrics, interconnect, manufacturing, material, materials science, semiconductor, thin films
Thema-Inhalt
TJFD - Elektronische Geräte und Materialien TJF - Elektronik TJFC - Schaltkreise und Komponenten (Bauteile) THR - Elektrotechnik
Höhe
235 mm
Breite
15.5 cm

Transparenz & Sicherheit

Hersteller: Springer, Europaplatz 3, Heidelberg, Deutschland, 69115, ProductSafety@springernature.com, Springer Nature Customer Service Center GmbH

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