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Oberflächenanalytische Charakterisierung von metallischen Verunreinigungen und Oxiden auf GaAs
(Broschiert, Deutsch)
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Beschreibung
Inhalt dieses Buches ist die detaillierte Charakterisierung der Oberfläche von GaAs-Halbleitern hinsichtlich oberflächennaher Verunreinigungen und passivierender Oxidschichten. Der Autor entwickelt ein Verfahren zum quantitativen Nachweis von metallischen Spurenelementen mit der Flugzeit-Sekundärionenmassenspektrometrie (TOF-SIMS), das es möglich macht, Oberflächenbelegungen auf GaAs mit… Konzentrationen kleiner 109 Atome/cm2 quantitativ nachzuweisen. Ein Vergleich passivierender Oxide hinsichtlich ihrer Komponenten, Schichtstruktur und Dicke liefert die Grundlagen für gezielte Änderungen des Herstellungsprozesses. Dieses Produkt haben wir gerade leider nicht auf Lager.
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Der Umwelt zuliebe
Technische Daten
Erscheinungsdatum
23.09.1997
Sprache
Deutsch
EAN
9783824420919
Herausgeber
Deutscher Universitätsverlag
Sonderedition
Nein
Seitenanzahl
138
Auflage
1997
Einbandart
Broschiert
Autorenporträt
Dr. Frank Schröder-Oeynhausen studierte Physik an der Universität zu Köln und Betriebswirtschaft an der FernUniversität Hagen. Er ist Technologieberater beim VDI in Düsseldorf.
Schlagwörter
Chemische Analyse, Elektronik, Galliumverbindungen, Halbleiter, Kristall, Massenspektrometrie, Nanotechnologie, Photoelektronenspektroskopie, Produktion, Spektrometrie, Vertrieb, Verunreinigung
Thema-Inhalt
TJFD - Elektronische Geräte und Materialien
PHFC - Physik der kondensierten Materie (Flüssigkeits- und Festkörperphysik)
TJF - Elektronik
KJ - Betriebswirtschaft und Management
Höhe
210 mm
Breite
14.8 cm
Hersteller: Deutscher Universitätsverlag, Europaplatz 3, Heidelberg, Deutschland, 69115, ProductSafety@springernature.com, Springer Nature Customer Service Center GmbH
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