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Chemical Vapor Deposition Polymerization
Jeffrey B. Fortin, Toh-Ming Lu (Broschiert, Englisch)
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Beschreibung
Chemical Vapor Deposition Polymerization - The Growth and Properties of Parylene Thin Films is intended to be valuable to both users and researchers of parylene thin films. It should be particularly useful for those setting up and characterizing their first research deposition system. It provides a good picture of the deposition process and equipment, as well as information on system-to-system… variations that is important to consider when designing a deposition system or making modifications to an existing one. Also included are methods to characterizae a deposition system's pumping properties as well as monitor the deposition process via mass spectrometry. There are many references that will lead the reader to further information on the topic being discussed. This text should serve as a useful reference source and handbook for scientists and engineers interested in depositing high quality parylene thin films. 106,99 €
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Technische Daten
Erscheinungsdatum
03.12.2010
Sprache
Englisch
EAN
9781441954138
Herausgeber
Springer US
Sonderedition
Nein
Autor
Jeffrey B. Fortin, Toh-Ming Lu
Seitenanzahl
102
Auflage
1
Einbandart
Broschiert
Buch Untertitel
The Growth and Properties of Parylene Thin Films
Schlagwörter
Parylene, polymer, polymerization, polymers, thin films
Thema-Inhalt
PHFC - Physik der kondensierten Materie (Flüssigkeits- und Festkörperphysik)
TDC - Industrielle Chemie und Chemietechnologie
TGMT - Werkstoffprüfung
Höhe
235 mm
Breite
15.5 cm
Hersteller: Springer, Europaplatz 3, Heidelberg, Deutschland, 69115, ProductSafety@springernature.com, Springer Nature Customer Service Center GmbH
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