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Photomodulated Optical Reflectance

Janusz Bogdanowicz (Broschiert, Englisch)

Optischer Zustand
Beschreibung
One of the critical issues in semiconductor technology is the precise electrical characterization of ultra-shallow junctions. Among the plethora of measurement techniques, the optical reflectance approach developed in this work is the sole concept that does not require physical contact, making it suitable for non-invasive in-line metrology. This work develops extensively all the fundamental…  physical models of the photomodulated optical reflectance technique and introduces novel approaches that extend its applicability from dose monitoring towards detailed carrier profile reconstruction. It represents a significant breakthrough in junction metrology with potential for industrial implementation.
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Technische Daten


Erscheinungsdatum
17.07.2014
Sprache
Englisch
EAN
9783642426865
Herausgeber
Springer Berlin
Serien- oder Bandtitel
Springer Theses
Sonderedition
Nein
Autor
Janusz Bogdanowicz
Seitenanzahl
204
Auflage
1
Einbandart
Broschiert

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