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Erhöhung der Verschleissfestigkeit von Mikrobauteilen
Michael Beck (Broschiert, Deutsch)
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Beschreibung
In der Mikrotechnik geht die fortschreitende Miniaturisierung mit einer Verringerung der erzeugbaren Leistung und einer Verkleinerung der Toleranzen einher. Eine hohe Anfälligkeit der Bauteile für Reibung und Verschleiß ist das Resultat. Diese Arbeit untersucht, wie sich bei Aktorkomponenten Reibung und Verschleiß durch Beschichtung mit amorphem Kohlenstoff (Diamond like Carbon DLC) verringern… lässt. Als Beschichtungsprozess dient plasmaunterstützte chemische Abscheidung aus der Dampfphase (Plasma enhanced chemical vapor deposition PECVD). Als kohlenstoffhaltige Gase werden Methan und Azetylen verwendet, während zur Erzeugung des Plasmas Argon zum Einsatz kommt. Untersuchte Aktorwerkstoffe, die mit DLC beschichtet werden, sind Silizium, Kupfer, Nickel-Eisen und SU-8. Untersucht wird die Variation von Beschichtungsleistung, Prozessdruck und Gasfluss der einzelnen Gase. Die Schichten werden mit verschiedenen Verfahren bezüglich Härte, E-Modul, Schichthaftung, Schichtspannung, Zusammensetzung und Struktur untersucht. Anschließend werden Versuche zur Partikelbildung und dem Verschlei߬verhalten durchgeführt. Das Ergebnis der Arbeit sind amorphe Kohlenstoffschichten, welche die Verschleißfestigkeit von unterschiedlichen in der Mikroaktorik angewendeten Werkstoffen erhöhen und die Reibeigenschaften verbessern. Dieses Produkt haben wir gerade leider nicht auf Lager.
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Technische Daten
Erscheinungsdatum
17.08.2005
Sprache
Deutsch
EAN
9783936888911
Herausgeber
TEWISS
Serien- oder Bandtitel
Berichte aus dem IMT
Sonderedition
Nein
Autor
Michael Beck
Seitenanzahl
135
Auflage
1
Einbandart
Broschiert
Schlagwörter
Mikrobauteile, Verschleißfestigkeit, Reibeigenschaft
Thema-Inhalt
T - Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse
Höhe
210 mm
Breite
14.8 cm
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