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Beschreibung
Amorphous silicon PV panel mass production will require to mas ter plasma chemical deposition in terms of large sizes, cost, maintenance and all other problems related to industrialization. Since plasma deposition is a novel technique, the development of all this production related know how involves a considerable technical research effort. The major problems related to the design of a production… deposi tion machine are the following - deposition should be uniform on very large area substrate (typical dimension 1 meter) ; - the deposited amorphous silicon should have good electronic properties (density of state of the order or less than 16 3 10 cm /eV) and very low impurities concentrations (for exam ple oxygen atomic concentration should idealy be less than 0. 01 %) ; - the film stress should be limited, the density of ponctual defects (particulates) should remain reasonable (less than 2 per 100 cm ) ; - dopant level control should be stable and efficient ; - silane consumption should remain reasonably efficient - financial cost being important the machine productivity should be high hence deposition rate optimized ; - downtime due to maintenance should be reduced to a minimum. We present here some results on the R&D effort addressed to the above mentioned problems. An original single chamber was designed. This machine will be made available on the market for R&D purposes by a process machine company. Finally the maintenance problem is considered. Plasma cleaning based on a fluorine containing etchant gases is studied and evaluated. 2. 106,99 €
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Technische Daten
Erscheinungsdatum
02.04.2012
Sprache
Englisch
EAN
9789401078214
Herausgeber
Springer Netherland
Serien- oder Bandtitel
Solar Energy and Development
Sonderedition
Nein
Seitenanzahl
320
Einbandart
Broschiert
Buch Untertitel
Proceedings of the Second Contractors’ Meeting held in Hamburg, 16–18 September 1987
Schlagwörter
Substrat, hydrogen, material, solar cell
Thema-Inhalt
THV - Alternative und erneuerbare Energiequellen und -technik
Höhe
235 mm
Breite
15.5 cm
Transparenz & Sicherheit
Hersteller: Springer Nature Customer Service Center GmbH, Europaplatz 3, Heidelberg, Deutschland, 69115, ProductSafety@springernature.com
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