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Mikrosystemtechnik auf Silizium
Ulrich Hilleringmann (Broschiert, Deutsch)
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Optischer Zustand
Beschreibung
Die Mikrosystemtechnik wird in ihren Teilgebieten Mikroelektronik und Mikromechanik von der Siliziumtechnologie beherrscht. Materialeigen schaften und insbesondere die verbreitete, hoch entwickelte Prozeß technik haben andere Materialien weitgehend verdrängt. Dagegen ist das Halbleitermaterial Silizium für Anwendungen der Integrierten Optik bislang wegen seiner ungünstigen optischen Eigen schaften… nur unzureichend beachtet worden. Erst die Mikrosystemtechnik hat zur Entwicklung einer geeigneten Integrationstechnik geführt, um die "Mechatronik" um integriert-optische Komponenten zu erweitern. Ziel dieses Buches ist es, Wege zur systemgerechten Einbindung der Integrierten Optik in die mikroelektronische Prozeßführung aufzuzeigen und die Eignung der Technologie zur monolithischen Integration von optischen, mikromechanischen und mikroelektronischen Bauelementen auf einem Siliziumchip anhand real gefertigter Muster zu demonstrieren. Die Basis der monolithischen Systemintegration auf Silizium wird ausgehend von der mikroelektronischen Prozeßtechnik diskutiert. Auf der Grundlage der Halbleitertechnologie zur Schaltungsintegration aufbauend werden mögliche Bauformen der Wellenleiter und der mikro mechanischen Komponenten zum Einbau in den CMOS-Prozeß verglichen. Vor-und Nachteile der Schnittstellen und der verschiedenen Integrationstechniken werden angesprochen und anhand realer Muster vergleichend diskutiert. Zur Abrundung des Themas werden einige Komponenten zur Verbesserung der mikroelektronischen Schaltungen im monolithischen Integrationsprozeß angesprochen, um eine schnelle, präzise Signalverarbeitung in den MOS-Schaltungen zu ermöglichen. Für die umfangreichen Arbeiten, die mit der Erstellung dieses Buches verbunden waren, möchte ich mich bei HerrnProf. K. Goser, Herrn Prof. K. Schumacher, den Herren Doktoren S. Adams, T. Harms, C. Heite, K. 49,95 €
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Technische Daten
Erscheinungsdatum
01.01.1995
Sprache
Deutsch
EAN
9783519061588
Herausgeber
Vieweg & Teubner
Sonderedition
Nein
Autor
Ulrich Hilleringmann
Seitenanzahl
229
Auflage
1
Einbandart
Broschiert
Autorenporträt
Priv.-Doz. Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann, Univ. Dortmund
Schlagwörter
Entwicklung, Halbleiter, Mechanik, Mechatronik, Mikroelektronik, Mikrosystem (MEMS), Mikrosystemtechnik, Optik, Signalverarbeitung, Systeme, Systemintegration, Systemtechnik, Technik, Technologie, Werkstoff
Thema-Inhalt
TBC - Ingenieurswesen, Maschinenbau allgemein
Hersteller: Springer Nature Customer Service Center GmbH, ProductSafety@springernature.com
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