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Bücher Wissen & Bildung Englische Bücher Naturwissenschaft, Medizin, Informatik, Technik Technik Allg. & Lexika Multilayer Integrated Film Bulk Acoustic Resonators
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Beschreibung
Mulilayer Integrated Film Bulk Acoustic Resonators mainly introduces the theory, design, fabrication technology and application of a recently developed new type of device, multilayer integrated film bulk acoustic resonators, at the micro and nano scale involving microelectronic devices, integrated circuits, optical devices, sensors and actuators, acoustic resonators, micro-nano manufacturing,… multilayer integration, device theory and design principles, etc. These devices can work at very high frequencies by using the newly developed theory, design, and fabrication technology of nano and micro devices. Readers in fields of IC, electronic devices, sensors, materials, and films etc. will benefit from this book by learning the detailed fundamentals and potential applications of these advanced devices. Prof. Yafei Zhang is the director of the Ministry of Education’s Key Laboratory for Thin Films and Microfabrication Technology, PRC; Dr. Da Chen was a PhD student in Prof. Yafei Zhang’s research group. 106,99 €
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Technische Daten
Erscheinungsdatum
20.09.2014
Sprache
Englisch
EAN
9783642427558
Herausgeber
Springer Berlin
Sonderedition
Nein
Autor
Yafei Zhang, Da Chen
Seitenanzahl
154
Einbandart
Broschiert
Schlagwörter
Device Theory and Design Principle, Film Bulk Acoustic Resonator, Micro-nano Manufacturing, Microelectronic Device, Multilayer Integration, Sensors and Actuators
Thema-Inhalt
TJF - Elektronik
TGM - Materialwissenschaft
PHFC - Physik der kondensierten Materie (Flüssigkeits- und Festkörperphysik)
Höhe
235 mm
Breite
15.5 cm
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