In den letzten Jahren erschienen bereits mehrere Bücher zum Thema Ionenimplanta tion, die sich fast ausschließlich an auf dem Gebiet der Ionenimplantation tätige Wissenschaftler wenden und deshalb der Theorie einen sehr breiten Raum einräumen. Im Gegensatz hierzu wendet sich das vorliegende Werk weniger an den Implanta tionsfachmann, sondern mehr an Forscher und Entwickler in Industrie, F or… Mehr zeigen schungslaboratorien und Hochschulen, die an der Ionenimplantation als neuem Hilfsmittel zur Veränderung von Materialeigenschaften interessiert sind und wissen wollen, ob die Ionenimplantation für ihr Problem anwendbar ist. Bei einer solchen Ausrichtung muß deshalb nach unserer Meinung neben einem kurzen Abriß der theoretischen Grundlagen vor allem die Behandlung von Problemen bei der Anwendung der Implantation im Vordergrund der Darstellung stehen, wovon hier zum Beispiel genannt seien die elektrische Aktivierung implantierter Ionen, Diffusionseffekte sowie die Diskussion der hauptsächlich verwendeten Meß methoden zur Untersuchung implantierter Schichten, die apparativen Anforderungen an Beschleunigungssysteme und natürlich zahlreiche Beispiele zur Anwendung der Ionenimplantation. Die Schwerpunkte des Buches liegen bei der Dotierung von Halbleitern durch Ionenimplantation, da dies zur Zeit und wahrscheinlich noch sehr lange ihre Hauptanwendung sein wird; dennoch wird von Fall zu Fall auf die weiteren Möglich keiten der Implantation eingegangen. Weniger zeigen

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Produktinformationen

Technische Daten

Erscheinungsdatum

01.06.1978

Sprache

Deutsch

EAN

9783519032069

Herausgeber

Vieweg & Teubner

Sonderedition

Nein

Autor

Heiner Ryssel, Ingolf Ruge

Seitenanzahl

366

Auflage

Einbandart

Broschiert

Schlagwörter

Aluminium, Dotierung, Energie, Halbleiter, Halbleiterbauelement, Industrie, Reaktor, Systeme, Verfahren, Werkstoff

Thema-Inhalt

TBC - Ingenieurswesen, Maschinenbau allgemein

Höhe

244 mm

Breite

17 cm

Hersteller: Vieweg+Teubner Verlag, Europaplatz 3, Heidelberg, Deutschland, 69115, ProductSafety@springernature.com, Springer Nature Customer Service Center GmbH

Warnhinweise und Sicherheitsinformationen

Informationen nach EU Data Act

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