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Bücher Wissen & Bildung Naturwissenschaft, Medizin, Informatik, Technik Technik Chemische Technik Ferroelektrizität in Hafniumdioxid und deren Anwendung in nicht-flüchtigen Halbleiterspeichern
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Ferroelektrizität in Hafniumdioxid und deren Anwendung in nicht-flüchtigen Halbleiterspeichern
Johannes Müller (Broschiert, Deutsch)
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Beschreibung
Bei der Entwicklung von "Emerging Memories" besteht das Ziel die Attribute Geschwindigkeit, Skalierbarkeit, Energieeffizienz und vor allem Nicht-Flüchtigkeit in einer Halbleiterspeichertechnologie zu vereinigen. Dabei macht man sich das einigen Materialien innewohnende elektrische, magnetische, oder kalorische Gedächtnis zu nutze. Im Falle der intensiv erforschten Ferroelektrika manifestiert sich… dieses Erinnerungsvermögen in elektrisch schaltbaren Dipolen. Diese Möglichkeit der elektrischen Ansteuerung macht sie zu einem idealen Schalter für die Mikroelektronik.
Mit der Entdeckung einer ferroelektrischen Polarisationshysterese im HfO2 kann erstmalig der Kreis der potentiell einsetzbaren Ferroelektrika um eine CMOS-kompatible, fertigungsnahe und skalierbare Alternative erweitert werden. Der physikalische Ursprung dieses unerwarteten Phänomens wird im Rahmen dieser Arbeit näher untersucht sowie dessen Einsatz in nicht-flüchtigen Halbleiterspeichern bewertet. Dafür werden dotierte HfO2-Dünnschichten mittels Atomlagenabscheidung hergestellt und strukturell charakterisiert. Eine detaillierte elektrische Bewertung der ferroelektrischen Dünnschichten erfolgt durch Einbettung in Kondensatoren und Feldeffekttransistoren. Dieses Produkt haben wir gerade leider nicht auf Lager.
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Technische Daten
Erscheinungsdatum
19.02.2015
Sprache
Deutsch
EAN
9783839608463
Herausgeber
Fraunhofer Verlag
Sonderedition
Nein
Autor
Johannes Müller
Seitenanzahl
240
Einbandart
Broschiert
Schlagwörter
Fraunhofer IPMS, Angewandte Forschung, applied research
Thema-Inhalt
TJFD - Elektronische Geräte und Materialien
PHFC - Physik der kondensierten Materie (Flüssigkeits- und Festkörperphysik)
PNT - Kristallografie
Höhe
210 mm
Breite
14.8 cm
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