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Der Umwelt zuliebe

Plasma-Surface Interactions and Processing of Materials

(Gebundene Ausgabe, Englisch)

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Beschreibung
An understanding of the processes involved in the basic and applied physics and chemistry of the interaction of plasmas with materials is vital to the evolution of technologies such as those relevant to microelectronics, fusion and space. The subjects dealt with in the book include: the physics and chemistry of plasmas, plasma diagnostics, physical sputtering and chemical etching, plasma assisted deposition of thin films, ion and electron bombardment, and plasma processing of inorganic and polymeric materials. The book represents a concentration of a substantial amount of knowledge acquired in this area - knowledge which was hitherto widely scattered throughout the literature - and thus establishes a baseline reference work for both established and tyro research workers.
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Technische Daten


Erscheinungsdatum
31.01.1990
Sprache
Englisch
EAN
9780792305842
Herausgeber
Springer Netherland
Serien- oder Bandtitel
NATO Science Series E:
Sonderedition
Nein
Seitenanzahl
558
Auflage
1
Einbandart
Gebundene Ausgabe
Bandzählung
176
Schlagwörter
Polymer, RSI, alloy, crystal, diffraction, electron diffraction, modeling, spectroscopy, structural analysis
Thema-Inhalt
TDC - Industrielle Chemie und Chemietechnologie TGMT - Werkstoffprüfung PHM - Atom- und Molekularphysik PNR - Physikalische Chemie
Höhe
234 mm
Breite
15.6 cm

Transparenz & Sicherheit

Hersteller: Springer, Europaplatz 3, Heidelberg, Deutschland, 69115, ProductSafety@springernature.com, Springer Nature Customer Service Center GmbH

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