Technische Daten
Erscheinungsdatum
18.03.2022
Herausgeber
Springer International Publishing
Serien- oder Bandtitel
Microsystems and Nanosystems
Autor
Alissa M. Fitzgerald, Carolyn D. White, Charles C. Chung
Buch Untertitel
From Concept to Commercialization
Schlagwörter
MEMS Commercialization, electrostatic actuators, MEMS Fabrication, MEMS Foundry, MEMS Manufacturing, Mask Layout, Microfabrication, microfluidics, Microsystems, Microtechnology, Nanotechnology, piezoelectric devices, MEMS Production, MEMS Supply Chain, Semiconductors, MEMS manufacturability
Thema-Inhalt
TJF - Elektronik
TGP - Fertigungstechnik und Ingenieurwesen
TBN - Nanotechnologie
Hersteller: Springer, Europaplatz 3, Heidelberg, Deutschland, 69115, ProductSafety@springernature.com, Springer Nature Customer Service Center GmbH
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