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Der Umwelt zuliebe
Optischer Zustand
Beschreibung
Das Buch vermittelt die Grundlagen zur Herstellung und dem Aufbau von Mikrosystemen. Es kann in zwei Teile aufgeteilt werden. Der Schwerpunkt von Teil I liegt hierbei auf den Mikrofertigungsprozessen und behandelt die Siliziumtechnologie, mikromechanische Strukturierungs- (anisotropes Ätzen, DRIE) und Bondprozesse (Eutectic Bonding, Fusion Bonding). Teil II behandelt die Aufbau- und 39,99 €
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Technische Daten
Erscheinungsdatum
02.01.2023
Sprache
Deutsch
EAN
9783658374976
Herausgeber
Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH
Sonderedition
Nein
Autor
Ha Duong Ngo
Seitenanzahl
246
Auflage
1
Einbandart
Broschiert
Autorenporträt
Ha Duong Ngo ist seit 2012 Professor für Mikrosystemtechnik und Mikrosensorik an der Hochschule für Technik und Wirtschaft Berlin. Von 2015 bis 2021 war er Gruppenleiter Mikrosensorik am Fraunhofer Institut IZM Berlin. Davor war er Oberingenieur an der Technische Universität Berlin auf dem Gebiet Mikrosensor/Mikroaktuatorik und Referent Technologie bei Firma Schott AG.
Schlagwörter
Mikrosystemtechnik, Halbleiter, Elektrotechnik, Chiptechnologie, Halbleiter in der Mikrosystemtechnik, Reinraumtechnik, Volumenmikromechanik, Oberflächenmikromechanik, mikromechanische Strukturierungsprozesse, Chipmontage, Mechatronik, High Aspect Ratio Micro-Structures, Nicht-Silizium-HARMS, Beschichtungstechnologie, Aufbau- und Verbindungstechnik, Kontaktiertechnologien, Bondprozesse, Löten,, Kleben, Mikrosensorik
Thema-Inhalt
TJF - Elektronik
TJFC - Schaltkreise und Komponenten (Bauteile)
TGB - Maschinenbau
PNR - Physikalische Chemie
Höhe
240 mm
Breite
16.8 cm
Transparenz & Sicherheit
Hersteller: Springer, Europaplatz 3, Heidelberg, Deutschland, 69115, ProductSafety@springernature.com, Springer Nature Customer Service Center GmbH
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