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Technologie hochintegrierter Schaltungen
Dietrich Widmann (Broschiert, Deutsch)
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Beschreibung
Im vorliegenden Buch wird die Technologie von hochintegrierten Schaltungen behandelt. Es werden zunächst sehr ausführlich und praxisnah die verschiedenen technologischen Verfahren und Einzelprozesse aus den Bereichen Lithographie, Schicht-, Ätz- und Dotiertechnik beschrieben. Danach folgen Beispiele für die Integration der Einzelprozesse zur Herstellung von CMOS-, Bipolar- und BICMOS-Schaltungen.… Sowohl die Einzelprozesse als auch die Prozeßintegration sind anschaulich mit zahlreichen Bildern dargestellt. Das Buch vermittelt nicht nur eine gute Übersicht, sondern auch sehr detaillierte Informationen über den modernsten Stand der Technologie hochintegrierter Schaltungen, wie sie z.B. bei der Herstellung des dynamischen IMEGA-Bit-Speichers Anwendung findet. Darüber hinausgehende Entwicklungen, die in den Sub-Mikrometer-Bereich führen, werden ebenfalls beschrieben. Dieses Produkt haben wir gerade leider nicht auf Lager.
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Der Umwelt zuliebe
Technische Daten
Erscheinungsdatum
08.06.1988
Sprache
Deutsch
EAN
9783540184393
Herausgeber
Springer Berlin
Serien- oder Bandtitel
Halbleiter-Elektronik
Sonderedition
Nein
Autor
Dietrich Widmann
Seitenanzahl
320
Einbandart
Broschiert
Bandzählung
19
Schlagwörter
Schaltung, Strukturgröße, Werkstoff, CMOS, Mikrometer
Thema-Inhalt
TJF - Elektronik
TJFD - Elektronische Geräte und Materialien
Höhe
235 mm
Breite
15.5 cm
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