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Untersuchungen zur Feuchtigkeitsaufnahme von Niedrig-Epsilon-Materialien für die Anwendung als Zwischenebenendielektrika in Mikrochips
Christoph Kubasch (Broschiert, Deutsch)
Optischer Zustand
Sehr guter Zustand: leichte Gebrauchsspuren vorhanden z.B. mit vereinzelten Knicken, Markierungen oder mit Gebrauchsspuren am Cover Gut als Geschenk geeignet
Beschreibung
Im Rahmen dieser Arbeit wurden industrierelevante siliziumbasierte Niedrig-Epsilon-Materialien für den Einsatz als Zwischenebenenisolatoren in modernen Mikrochips in Hinblick auf die Feuchtigkeitsaufnahme aus der Umgebung untersucht. Unter Verwendung von MIM-Strukturen und mithilfe von C-t-Messungen wurden der Anstieg in der Permittivitätszahl aufgrund der Wasseraufnahme und das transiente… Verhalten der Materialien bis zum Erreichen des Sättigungszustandes analysiert. Durch die Anwendung der Debye-Gleichung konnte anhand dieser Daten der absolute Wassergehalt in den Dielektrika bestimmt sowie ein Diffusionsmodell zur Wasseraufnahme erstellt werden. Zur Bestätigung der Debye-Gleichung wurden QCM-Messungen durchgeführt. Mittels FTIR-Spektroskopie wurde die chemische Zusammensetzung der Dielektrika und der Einfluss von Wasser auf die Bindungen und die Struktur in den Materialien untersucht. Die Dissoziation von Wasser bei hohen elektrischen Feldern konnte anhand von Leckstrom- und Durchbruchmessungen sowie mithilfe von C-V-Messungen gezeigt werden.
Die gewonnenen Erkenntnisse vertiefen das Verständnis zur Wasseraufnahme von Niedrig-Epsilon-Materialien und bieten Ansatzpunkte zur Weiterentwicklung dieser Materialien in Hinblick auf eine geringe Feuchtigkeitsaufnahme aus der Umgebung. neu 20,00 € -47 %*
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Technische Daten
Erscheinungsdatum
29.11.2013
Sprache
Deutsch
EAN
9783863869687
Herausgeber
Westarp BookOnDemand
Sonderedition
Nein
Autor
Christoph Kubasch
Seitenanzahl
149
Auflage
1
Einbandart
Broschiert
Schlagwörter
Forschung, Natur, Technik
Thema-Inhalt
TJ - Elektronik, Nachrichtentechnik
Höhe
210 mm
Breite
14.8 cm
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