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Aufbau und Eigenschaften einer Zweikreis-Plasmastrahlquelle für die direkte Plasmastrahldeposition von Hartstoffschichten und deren Anwendung am Beispiel von kubischem Bornitrid
Michael Haag (Broschiert, Deutsch)
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Technische Daten
Erscheinungsdatum
01.01.2003
Sprache
Deutsch
EAN
9783832216320
Herausgeber
Shaker
Serien- oder Bandtitel
Berichte aus der Physik
Sonderedition
Nein
Autor
Michael Haag
Seitenanzahl
131
Auflage
1
Einbandart
Broschiert
Höhe
210 mm
Breite
14.8 cm
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