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Gekoppelte dynamisch-optische Simulation von Hochleistungsobjektiven
Nicolai Wengert (Broschiert, Deutsch)
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Optischer Zustand
Beschreibung
Durch gekoppelte dynamisch-optische Simulationen kann untersucht werden, wie sich Hochleistungsobjektive im Betrieb verhalten. Insbesondere bei Lithographie-Objektiven ist dies von Nutzen, um den Belichtungsprozess zu simulieren. Damit können während der Entwicklungsphase Maßnahmen ergriffen werden, um die Konstruktion zu verbessern. Das multidiszplinäre Problem der Dynamik-Optik-Kopplung… erfordert Kenntnisse sowohl von mechanischen als auch optischen Simulationsverfahren. Zum mechanischen Teil gehören die Finite-Elemente-Methode sowie starre und elastische Mehrkörpersysteme. Mit diesen drei Verfahren können nahezu alle erdenklichen Belastungsfälle abgedeckt werden. Auf der optischen Seite stehen die Strahlverfolgung und die Fourier-Optik. Über die Strahlverfolgung werden Bildfehler berechnet, die eine quantitative Aussage über ein optisches System ermöglichen. Anhand der Bildfehler können mittels der Fourier-Optik die Abbildungen eines mechanisch belasteten Objektivs simuliert werden. Dies hilft z.B. bei der Fotolithographie, um belichtete Strukturen auf dem Fotolack voherzusagen. Ein wichtiger Bestandteil der vorliegenden Arbeit ist, speziell die elastischen Mehrkörpersysteme mit der Strahlverfolgung zu verbinden. Dieses Produkt haben wir gerade leider nicht auf Lager.
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Technische Daten
Erscheinungsdatum
19.01.2016
Sprache
Deutsch
EAN
9783844041750
Herausgeber
Shaker
Serien- oder Bandtitel
Schriften aus dem Institut für Technische und Numerische Mechanik der Universität Stuttgart
Sonderedition
Nein
Autor
Nicolai Wengert
Seitenanzahl
154
Auflage
1
Einbandart
Broschiert
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