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Der Umwelt zuliebe

Scanning Electron Microscopy

Ludwig Reimer (Gebundene Ausgabe, Englisch)

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Beschreibung
The aim of this book is to outline the physics of image formation, electron specimen interactions, imaging modes, the interpretation of micrographs and the use of quantitative modes "in scanning electron microscopy (SEM). lt forms a counterpart to Transmission Electron Microscopy (Vol. 36 of this Springer Series in Optical Sciences) . The book evolved from lectures delivered at the University of Münster and from a German text entitled Raster-Elektronenmikroskopie (Springer-Verlag), published in collaboration with my colleague Gerhard Pfefferkorn. In the introductory chapter, the principles of the SEM and of electron specimen interactions are described, the most important imaging modes and their associated contrast are summarized, and general aspects of eiemental analysis by x-ray and Auger electron emission are discussed. The electron gun and electron optics are discussed in Chap. 2 in order to show how an electron probe of small diameter can be formed, how the elec tron beam can be blanked at high frequencies for time-resolving exper iments and what problems have tobe taken into account when focusing.
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Technische Daten


Erscheinungsdatum
01.12.1985
Sprache
Englisch
EAN
9783540135302
Herausgeber
Springer Berlin
Serien- oder Bandtitel
Springer Series in Optical Sciences
Sonderedition
Nein
Autor
Ludwig Reimer
Seitenanzahl
463
Einbandart
Gebundene Ausgabe
Buch Untertitel
Physics of Image Formation and Microanalysis
Bandzählung
45
Thema-Inhalt
PNFS - Spektroskopie, Spektrochemie, Massenspektrometrie PNFS - Spektroskopie, Spektrochemie, Massenspektrometrie PDN - Wissenschaftliche Ausstattung, Experimente und Techniken

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