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Hochrate-Abscheidung von piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnschichten mittels reaktiven Magnetron-Sputterns
Stephan Barth (Broschiert, Deutsch)
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Optischer Zustand
Sehr guter Zustand: leichte Gebrauchsspuren vorhanden z.B. mit vereinzelten Knicken, Markierungen oder mit Gebrauchsspuren am Cover Gut als Geschenk geeignet
Beschreibung
Der vorliegende Band der „Dresdener Beiträge zur Sensorik“ untersucht das reaktive Magnetron-Sputtern zur Abscheidung piezoelektrischer Dünnschichten auf der Basis von Aluminiumnitrid (AlN). Solche piezoelektrischen Dünnschichten lassen sich vorteilhaft für Sensoren und Aktoren verwenden. Der Abscheideprozess ermöglicht die homogene Herstellung auf einer großen Fläche von bis zu 200 mm Durchmesser… bei gleichzeitig hoher Abscheiderate und Homogenität. Die Kenntnis der Haupteinflussgrößen des Prozesses auf die Schichteigenschaften ermöglicht die wirtschaftliche Abscheidung von AlN-Schichten mit Dicken von bis zu mehreren 10 Mikrometern. Durch die Dotierung der Schichten mit Scandium lassen sich die piezoelektrischen Eigenschaften weiter verbessern, so dass sich völlig neue Anwendungsgebiete eröffnen. neu 29,99 € -61 %*
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Technische Daten
Erscheinungsdatum
01.07.2015
Sprache
Deutsch
EAN
9783959080132
Herausgeber
TUDpress
Serien- oder Bandtitel
Dresdner Beiträge zur Sensorik
Sonderedition
Nein
Autor
Stephan Barth
Seitenanzahl
124
Auflage
1
Einbandart
Broschiert
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