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Der Umwelt zuliebe
Untersuchungen zur Anwendbarkeit;Ruthenium-basierter Schichten für die Verdrahtung;integrierter Schaltkreise
Henry Wojcik (Broschiert, Deutsch)
★★★★★
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Optischer Zustand
Sehr guter Zustand: leichte Gebrauchsspuren vorhanden z.B. mit vereinzelten Knicken, Markierungen oder mit Gebrauchsspuren am Cover Gut als Geschenk geeignet
Beschreibung
Die vorliegende Arbeit widmet sich einer Problemstellung, welche in Cu-Damaszenstrukturen mit einer Verjüngung der Cu-Leitbahnen auf weniger als 50 nm einhergeht, dadurch gekennzeichnet, dass das konventionelle Dreischichtsystem TaN/Ta/Cu an die Grenzen seiner Skalierbarkeit und Elektromigrationsbeständigkeit stößt. Ziel der Arbeit ist das Finden einer Alternative zu TaN/Ta/Cu. Der hier verfolgte… Lösungsansatz besteht in der Verwendung von Ru-basierten Schichten als neuartige Cu-Diffusionsbarriere-, Haftvermittler- und Cu-Keimschicht, sowohl auf PVD- als auch auf ALD-Basis. Neben elementaren Ru-Schichten werden verschiedene Mischschichten entwickelt und charakterisiert, die beigemischte Elemente wie Ta, W, Mn, N und C enthalten. Die in der Dissertation dargelegten Untersuchungen bewerten verschiedene Ru-(Misch)Schichten hinsichtlich ihrer Eignung als Cu-/O2-Diffusionsbarriere, Haftvermittler und/oder Keimschicht für die galvanische Cu-Beschichtung, bzw. die Abscheideverfahren hinsichtlich ihrer Schichteigenschaften und Wechselwirkung mit unterliegenden Schichten in Cu-Metallisierungen. Dabei werden sowohl analytische Methoden wie TEM, XPS, ToF-SIMS etc. angewandt, als auch elektrische Verfahren wie BTS und TVS. Abschließend erfolgt eine Einschätzung zum Anwendungspotential der Ru-Schichten, mit Blick auf wesentliche Qualitätsmerkmale eines Barriere-/Haftvermittler-/Keimschichtsystems für die Cu-Verdrahtung moderner integrierter Schaltkreise. neu 20,00 € -47 %*
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Der Umwelt zuliebe
* Spare 47 % gegenüber Neuware
Der Streichpreis bezieht sich auf den festgelegten Preis für Neuware.
Technische Daten
Erscheinungsdatum
02.04.2013
Sprache
Deutsch
EAN
9783863869625
Herausgeber
Westarp BookOnDemand
Sonderedition
Nein
Autor
Henry Wojcik
Seitenanzahl
176
Auflage
1
Einbandart
Broschiert
Schlagwörter
Forschung, Natur, Technik
Thema-Inhalt
TJ - Elektronik, Nachrichtentechnik
Höhe
210 mm
Breite
14.8 cm
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