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Kontaminationen in der Mikrostrukturierung
Jan Albers (Gebundene Ausgabe, Deutsch)
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Beschreibung
Dieses Buch erläutert die grundlegenden Zusammenhänge zwischen den Techniken der Mikrostrukturierung und den unvermeidbaren Kontaminationen durch die Umgebung. Es richtet sich an Dozenten und Studenten von Hochschulen mit Schwerpunkt Mikrosystemtechnik, aber auch an Ingenieure und Facharbeiter, die im Bereich Mikrosystemtechnik arbeiten.
Zunächst wird ein kurzer Einblick in die… Mikrostrukturtechniken gegeben. Es schließen sich Informationen über die verschiedenen Kontaminationsquellen und über die Eigenschaften und Defektmechanismen kleinster Partikel und molekularer Kontaminationen an. Des Weiteren werden die wichtigsten Mess- und Analysetechniken für Verunreinigungen sowie der grundsätzliche Aufbau eines Reinraumes vorgestellt.
Abschließend wird der Mensch im Reinraum betrachtet und wichtige Regeln für das Arbeiten im Reinraum aufgestellt.
Das Buch bietet Ingenieuren einen umfangreichen Einblick in dieses wichtige Thema der Mikrosystemtechnik und ist eine gute Grundlage für die Schulung des Reinraumpersonals. Nur gut geschultes Personal ist in der Lage, die Gefahr durch Verunreinigungen zu erkennen und sie zu vermeiden. Dieses Produkt haben wir gerade leider nicht auf Lager.
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Der Umwelt zuliebe
Technische Daten
Erscheinungsdatum
01.09.2005
Sprache
Deutsch
EAN
9783446402911
Herausgeber
Hanser, Carl
Sonderedition
Nein
Autor
Jan Albers
Seitenanzahl
168
Auflage
1
Einbandart
Gebundene Ausgabe
Autorenporträt
Dr. Jan Albers hält Vorlesungen zur Mikrosystemtechnik und Elektrochemie an der FH Dortmund und ist als Leiter der Schulungsabteilung bei der ELMOS Semiconductor AG verantwortlich für die Weiterbildung der Ingenieure im Bereich Reinraum-, Halbleiter- und Prozesstechnologie.
Kurzbeschreibung der Reihe
Der Dreck muss weg
Schlagwörter
Kontaminationen, Mikrosystemtechnik, Reinraumtechnologie
Höhe
228 mm
Breite
16.1 cm
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