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Bücher Wissen & Bildung Naturwissenschaft, Medizin, Informatik, Technik Technik Chemische Technik Untersuchungen zum Mechanismus der chemischen Gasphasenabscheidung von Diamant mit Hilfe des Hot-Filament-CVD-Verfahrens unter erzwungener Konvektion.
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Untersuchungen zum Mechanismus der chemischen Gasphasenabscheidung von Diamant mit Hilfe des Hot-Filament-CVD-Verfahrens unter erzwungener Konvektion.
Roland Kröger (Broschiert, Deutsch)
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Beschreibung
Ein tieferes mechanistisches Verständnis der Diamantabscheidung im Hot-Filament-CVD-Verfahren ist von großer Bedeutung für die technologische Weiterentwicklung dieser kostengünstig und einfach zu realisierenden Methode. Die Anwendung von erzwungener Konvektion führt in diesem Verfahren im Vergleich zum diffusionskontrollierten Fall nicht nur zu einer Steigerung der Abscheideraten um ein… Mehrfaches, sondern läßt in Verbindung mit prozeßanalytischen Methoden und Modellrechnungen auch wesentliche Aussagen über die beteiligten Prozesse am Filament und in der Gasphase zu. Untersucht werden in dieser Arbeit die Erzeugung und der Transport atomaren Wasserstoffs und der in der Gasphase erzeugten Kohlenwasserstoff-Spezies. Auf der Basis dieser experimentellen Ergebnisse werden ein- und zweidimensionale Modellrechnungen vorgenommen, die konsistente Aussagen hinsichtlich des beobachteten Depositionsverhaltens liefern. Dieses Produkt haben wir gerade leider nicht auf Lager.
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Technische Daten
Erscheinungsdatum
02.01.1997
Sprache
Deutsch
EAN
9783816751519
Herausgeber
Fraunhofer IRB Verlag
Serien- oder Bandtitel
Berichte aus Forschung und Entwicklung IST
Sonderedition
Nein
Autor
Roland Kröger
Seitenanzahl
164
Einbandart
Broschiert
Bandzählung
3
Schlagwörter
Fraunhofer IST, Diamant-CVD, erzwungene Konvektion, Gasphasenkinetik, HFCVD-Mechanismus, hot-filament CVD
Thema-Inhalt
T - Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft
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