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Semiconductor Wafer Bonding
Q.-Y. Tong (Gebundene Ausgabe, Englisch)
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Beschreibung
A one-stop resource on all aspects of semiconductor wafer bonding for materials scientists and electrical engineers
Semiconductor Wafer Bonding addresses the entire spectrum of mainstream and likely future applications of wafer bonding. It examines all of the important issues surrounding this technology, including basic interactions between flat surfaces, the influence of particles, surface steps… and cavities, surface preparation and room-temperature wafer bonding, thermal treatment of bonded wafer pairs, and much more.
This unique, one-stop resource consolidates information previously available only by time-consuming searches through technical journals, proceedings, and book chapters for more than 1,000 published articles on wafer bonding. It covers all materials used for wafer bonding-including silicon, III-V compounds, fused and crystalline quartz, glass, silicon carbide, sapphire, ferroelectrics, and many others.
For materials scientists and electrical engineers who need to exploit the potential of this flourishing technology, Semiconductor Wafer Bonding is a convenient one-stop resource for answers to many common questions. It is also an excellent text/reference for graduate students eager to learn about this interdisciplinary field, which spans surface chemistry, solid-state physics, materials science, and electrical engineering. Dieses Produkt haben wir gerade leider nicht auf Lager.
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Der Umwelt zuliebe
Technische Daten
Erscheinungsdatum
18.12.1998
Sprache
Englisch
EAN
9780471574811
Herausgeber
John Wiley & Sons
Serien- oder Bandtitel
Electrochemical Society Series
Sonderedition
Nein
Autor
Q.-Y. Tong
Seitenanzahl
298
Einbandart
Gebundene Ausgabe
Einbandart Details
Fadenbindung
Hersteller: Wiley, Boschstrasse 12, Weinheim, Deutschland, 69469, product_safety@wiley.com, Wiley-VCH GmbH
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