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Bücher Englische Bücher Microbolometer based on a Porous Silicon Fabrication Process with a Plasmonic Absorber
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Microbolometer based on a Porous Silicon Fabrication Process with a Plasmonic Absorber
Daniel Etter (Gebundene Ausgabe, Englisch)
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Beschreibung
Low-cost microbolometers are the key to enabling a broader market penetration of uncooled thermal imaging sensors. Nowadays, such devices can be used for commercial applications, ranging from thermal building inspection to automotive night vision. The problem with the presently available microbolometer arrays is the use of exotic materials in the production, such as non-CMOS-compatible materials,… e.g. vanadium oxide (VOx). The microbolometer presented in this dissertation follows a radically different approach. The concept involves the fabrication of a completely separate micro-electro-mechanical-system (MEMS) microbolometer chip and a separate read-out-circuit (ROIC) chip. These are combined using wafer-level bonding. In this design the infrared (IR) radiation is exposed from behind (through the substrate) onto the pixels. Fabricating the MEMS chip involves designing and fabricating thermally insulated microbolometer pixels. The temperature-sensitive-devices (TSDs) that detect the heat induced by the IR radiation are PN-junction diodes. Another essential part in this underlying work is the fabrication design of a plasmonic absorber for microbolometer pixels. Comparing the pixels with and without a plasmonic absorber shows that pixels with a plasmonic absorber, absorb LWIR 18 percent better compared to pixels without an absorber, further underlining the fact that the peak absorption approximately coincides the designed wavelength. Dieses Produkt haben wir gerade leider nicht auf Lager.
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Der Umwelt zuliebe
Technische Daten
Erscheinungsdatum
10.10.2014
Sprache
Englisch
EAN
9783844030204
Herausgeber
Shaker
Serien- oder Bandtitel
Berichte aus der Mikrosystemtechnik
Sonderedition
Nein
Autor
Daniel Etter
Seitenanzahl
155
Auflage
1
Einbandart
Gebundene Ausgabe
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