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Phasenseparierende Prozesse hochqualitativer optischer Schichten
Sina Malobabic (Broschiert, Deutsch)
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Optischer Zustand
Beschreibung
Nach dem heutigen Stand der Technik werden mit dem Ionenstrahlzerstäubungsverfahren (engl. Ion Beam Sputtering – IBS) optische Dünnschichtsysteme mit geringsten Verlustraten realisiert, die höchste Qualitätsstandards erfüllen. Da das IBS-Verfahren in seiner bisherigen Konzeption relativ ausgereift ist, sind künftig nur inkrementelle Verbesserungen zu erwarten.
Mit dem Ziel das IBS-Verfahren… dennoch zu verbessern, wird in dem vorliegenden Werk die Möglichkeit einer Erweiterung des IBS-Verfahrens durch die Implementierung eines Separatorkonzepts vorgestellt. Mit einem auf magnetischen Feldern basierenden Separationsverfahren ist es gelungen, die Qualität optischer Schichten durch eine Verminderung von Streuwerten zu steigern. Darüber hinaus wurde so eine Zugriffsmöglichkeit auf die Plasmaspezies geschaffen, womit neue Freiheitsgrade für Manipulationen der im IBS-Verfahren ablaufenden Prozesse eröffnet wurden. Diese Möglichkeiten verleihen dem modifizierten IBS-Prozess weitreichende Gestaltungsfreiheiten, mit denen Beschichtungsabläufe optimierbar sind. 39,70 €
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Technische Daten
Erscheinungsdatum
07.06.2016
Sprache
Deutsch
EAN
9783736992702
Herausgeber
Cuvillier Verlag
Sonderedition
Nein
Autor
Sina Malobabic
Seitenanzahl
152
Auflage
1
Einbandart
Broschiert
Schlagwörter
Optische Dünnschichttechnologie, separative Verfahren, Ionenstrahlzerstäubung, Optische Eigenschaften
Thema-Inhalt
PHFC - Physik der kondensierten Materie (Flüssigkeits- und Festkörperphysik)
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