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Reinigung und Reparatur geschädigter „ultra-low-k-Materialien“ - eine ab initio Studie
Oliver Böhm (Broschiert, Deutsch)
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Beschreibung
In der vorliegenden Arbeit wurden atomskalige Simulationsmethoden zur Untersuchung von Reinigungs- und Reparaturprozessen geschädigter ULK-Materialien angewendet. Im Detail wurden die Dichtefunktionaltheorie zur Berechnung von thermochemischen Eigenschaften relevanter Reaktionen und das Kraftfeld ReaxFF zur Berechnung von Diffusionskonstanten eingesetzt. Es konnte gezeigt werden, dass der in der… Halbleiterindustrie häufig verwendete Reiniger dHF lediglich zur Entfernung von offenporigen CF-Polymerfilmen geeignet ist. Ebenso sollten aminhaltige Reiniger aufgrund unerwünschter Nebenreaktionen vermieden werden. Zur Wiederherstellung der Dielektrizitätskonstante sowie des Kohlenstoffgehaltes in geschädigten ULK-Materialien wurden Reaktionen zur Silylierung von siliziumgebundenen Hydroxylgruppen in der Gasphase untersucht. Ein besonders günstiges Verhältnis aus Aktivierungs- und Reaktionsenergie zeigten das Silazan Bis(dimethylamino)dimethylsilan und das Siloxan Dimethyldiacetoxysilan.
Neben den thermochemischen Eigenschaften der Silylierungsreaktionen ist auch das Diffusionsverhalten der Reparaturchemikalien von Interesse. Zur Ermittlung der Selbstdiffusionskonstante wurde das Kraftfeld ReaxFF für die Elemente Si, C, O, N und H unter der Verwendung von ab initio Daten parametrisiert. In einer Molekulardynamiksimulation konnten dann die Selbstdiffusionskonstanten der Chemikalien Hexamethyldisilazan und Dimethyldiacetoxysilan berechnet werden. Dieses Produkt haben wir gerade leider nicht auf Lager.
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Technische Daten
Erscheinungsdatum
01.02.2015
Sprache
Deutsch
EAN
9783957350213
Herausgeber
Wissenschaftliche Scripten
Sonderedition
Nein
Autor
Oliver Böhm
Seitenanzahl
125
Einbandart
Broschiert
Buch Untertitel
Dissertation Oliver Böhm, Wissenschaftliche Schriftenreihe der GWT, Forschung für die Praxis Band 2
Schlagwörter
Ultra-low-k, Dichtefunktionaltheorie, Silylierung, Siloxan, ReaxFF, Molekulardynamik, Übergangszustand, Organosilikat, Silazan, Aktivierungsenergie
Thema-Inhalt
T - Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse
TG - Maschinenbau und Werkstoffe
Höhe
210 mm
Breite
14.8 cm
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