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Dual-Mass Linear Vibration Silicon-Based MEMS Gyroscope

Huiliang Cao (Gebundene Ausgabe, Englisch)

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Beschreibung
This book introduces the key technologies in the manufacture of double-mass line vibrating silicon micromechanical gyroscope, respectively. The design of gyrostructure, detection technology, orthogonal correction technology, the influence of temperature and the design of measurement and control system framework are introduced in detail, with illustrations for easy understanding. It presents the principle, structure and related technology of silicon-based MEMS gyroscope. The content enlightens the researchers of silicon-based MEMS gyroscopes and gives readers a new understanding of the structural design of silicon-based gyroscopes and the design of dual-mass gyroscopes.
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Technische Daten


Erscheinungsdatum
18.04.2023
Sprache
Englisch
EAN
9789811992469
Herausgeber
Springer Singapore
Sonderedition
Nein
Autor
Huiliang Cao
Seitenanzahl
224
Auflage
2023
Einbandart
Gebundene Ausgabe
Schlagwörter
Dual-mass, Quadrature correction, Noise analysis, Measurement and control circuit, Temperature compensation technology, Frequency tuning
Thema-Inhalt
TRP - Luft- und Raumfahrttechnik TTDS - Astronautik (Raumfahrttechnik) TJFM - Regelungstechnik
Höhe
235 mm
Breite
15.5 cm

Hersteller: Springer, Europaplatz 3, Heidelberg, Deutschland, 69115, ProductSafety@springernature.com, Springer Nature Customer Service Center GmbH

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