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Modellierung und Simulation eines neuartigen mikrowellengetriebenen Plasmajets

Michael Klute (Broschiert, Deutsch)

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Beschreibung
Gegenstand dieser Arbeit ist die Modellierung und Simulation eines neuartigen mikrowellengetriebenen Plasmajets, welcher die kompakten Abmessungen einer miniaturisierten Jetquelle mit den Vorteilen der induktiven Leistungseinkopplung verbindet. Es wird schrittweise eine analytische Beschreibung unter Ausnutzung problemangepasster Näherungen entwickelt, bestehend aus zwei Teilmodellen. Einerseits ein elektromagnetisches Modell auf Basis der Maxwellgleichungen und andererseits ein globales Plasmachemiemodell, in Form von volumengemittelten Bilanzgleichungen. Die anschließende Simulation verschiedener Plasmaparameter und Betriebszustände bildet die Grundlage für ein vertieftes Verständnis der neuartigen Plasmaquelle. Die zentralen Modellaussagen weden an verfügbaren experimentellen Daten für Stickstoff gespiegelt. Abschließend wird ein dreidimensionales Modell der Elektronendichte entwickelt, welches den Transport der Elektronen aufgrund von Diffusion und Drift im Rahmen einer partiellen Differentialgleichung beschreibt. Die entstehende Lösung erlaubt es, die Elektronendichte für beliebige Positionen entlang des Gasstroms und für eine große Breite an Betriebsparameter zu berechnen. Zusammenfassend ergibt sich eine umfassende theoretische Charakterisierung, sowohl der physikalischen Grundlagen, als auch der technologierelevanten Eigenschaften der neuen Plasmaquelle.
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Technische Daten


Erscheinungsdatum
28.02.2023
Sprache
Deutsch
EAN
9783832556204
Herausgeber
Logos Berlin
Sonderedition
Nein
Autor
Michael Klute
Seitenanzahl
127
Einbandart
Broschiert
Schlagwörter
Plasmamodellierung, Niedertemperaturplasma, Plasmajet
Thema-Inhalt
PHFP - Plasmaphysik PBWH - Mathematische Modellierung PDG - Industrielle Anwendungen der wissenschaftlichen Forschung und technologische Innovation PHV - Angewandte Physik TB - Technologie, allgemein
Höhe
210 mm
Breite
14.5 cm

Hersteller: Logos Verlag Berlin GmbH, Georg-Knorr-Str. 4, Geb. 10, Berlin, Deutschland, 12681, redaktion@logos-verlag.de

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