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Silizium-Halbleitertechnologie
Ulrich Hilleringmann (Broschiert, Deutsch)
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Beschreibung
Das Lehrbuch behandelt die Grundlagen und die technische Durchführung der Einzelprozesse zur mikroelektronischen Schaltungsintegration in der Silizium-Halbleitertechnologie. Die Integrationstechnik setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchführung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen genügen müssen, um die geforderten Strukturgrößen bis… zu wenigen Nanometern gleichmäßig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, Ätzschritte und Implantationen zur Herstellung von MOS- und Bipolarschaltungen werden - ausgehend vom Rohsilizium bis zur gekapselten integrierten Schaltung - aus Sicht der Prozessführung erläutert. Moderne 3D-Bauformen für Feldeffekttransistoren runden den Inhalt ab. 39,99 €
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Technische Daten
Erscheinungsdatum
27.10.2023
Sprache
Deutsch
EAN
9783658423773
Herausgeber
Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH
Sonderedition
Nein
Autor
Ulrich Hilleringmann
Seitenanzahl
309
Auflage
8
Einbandart
Broschiert
Buch Untertitel
Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik
Hersteller: Springer Nature Customer Service Center GmbH, ProductSafety@springernature.com
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