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Refraktive Multifokusröntgenlinsen und Hartmann-Shack-Sensoren

Alexander Opolka (Broschiert, Deutsch)

Optischer Zustand
Beschreibung
Refraktive Röntgenlinsen (engl.: Compound Refractive X ray Lenses, CRLs) weisen eine absorptionsbegrenzte numerische Apertur auf. In dieser Arbeit wird ein Feld von CRLs mit jeweils leicht geneigten optischen Achsen verwendet, um diese Limitierung bei der Vollfeldmikroskopie an Laborquellen zu umgehen. Unter anderem wird auf die röntgentiefenlithografische Herstellung von CRLs eingegangen und parallele Felder von CRLs diskutiert (Hartmann-Shack-Wellenfrontsensor, rasternde Abbildungsverfahren). Compound refractive X-ray lenses (CRLs) have an absorption-limited numerical aperture. In this work, an array of CRLs with slightly inclined optical axes is used to circumvent this limitation in full-field microscopy at laboratory sources. Among other things, fabrication of CRLs via deep X-ray lithography and parallel fields of CRLs (Shack-Hartmann wavefront sensor, scanning imaging methods) are discussed.
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Technische Daten


Erscheinungsdatum
15.08.2024
Sprache
Deutsch
EAN
9783731513490
Herausgeber
KIT Scientific Publishing
Serien- oder Bandtitel
Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik
Sonderedition
Nein
Autor
Alexander Opolka
Seitenanzahl
142
Auflage
1
Einbandart
Broschiert

Transparenz & Sicherheit

Hersteller: Karlsruher Institut für Technologie, Straße am Forum 2, Karlsruhe, Deutschland, 76131, bestellung@ksp.kit.edu, bestellung@ksp.kit.edu

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